Thermionics Differentially pumped rotary seals (RNNs) 差分抽气式旋转密封件 真空压差旋转密封样品台 RNN™-1200 Series RNN1200
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RNN™ 系列差分抽气式旋转密封
差分抽气式旋转密封（RNN）可在超高真空（UHV） 系统的真空隔离壁上，实现360° 全角度连续旋转。
差动抽气旋转密封件（RNN）可在超高真空系统的真空壁处实现360° 全方位连续旋转。该密封装置配备两级差动抽气结构，两级之间通过特殊密封面上浸石墨的膨体特氟龙 ® 密封件实现隔离。预紧式滚珠轴承组可精准控制旋转部件的位置。
该系列产品可选配蜗杆传动微调机构，让角度调节操作更简便、精度更高。同时也可搭配消间隙步进电机或同步电机驱动装置。
目前市面常规供货的 RNN 产品内径最大可达 12 英寸，更大内径规格的产品也已完成研发制造且性能优异，特殊使用场景可联系厂家定制。
- 标准通径规格：1.53 英寸至 12 英寸，可按需定制更大尺寸
- 烘烤耐受温度：最高 150 摄氏度
- 固定法兰与旋转法兰均预留螺纹安装孔
- 整体厚度约为两个康弗莱特法兰的厚度之和
- 结构形式：两级差动抽气
- 极限基础真空度：可达 10⁻¹¹ 托量级
- 标配 0–360° 主刻度盘及游标刻度
- 分辨力：＜0.004°
- 重复定位精度：＜0.008°
- 回程间隙：＜0.035°
- 标准刻度盘：最小刻度 1.0°
- 机械计数器：最小刻度 0.1°
- 如需达到最高分辨力，需搭配微步电机驱动装置
- 蜗杆传动微调机构
- 微调机构数字读数装置，读数精度 0.1°，机械式结构，不可清零
- 可加装机械计数器
- 消间隙步进电机驱动：单整步转角 0.018°（RNN-150/MS 型号单整步转角为 0.0225°），配备手动调节旋钮
- /FA 型设备可定制抽气管长度与曲轴长度
以下为标准工况下的最大额定载荷，特定工况可承载更大载荷，定制需求请联系厂家。
- 负载重心需位于设备极轴周边X范围内，X 取值为该 RNN 产品内径的 10%；
- 水平安装工况下，负载重心与旋转法兰的距离不得超过Y，Y 取值为法兰内径；
- 真空腔外部负载整体最大外形尺寸A要求：
- 立式安装：不超过法兰外径的 7 倍
- 水平安装：不超过法兰外径的 5 倍
- 倒置安装：不超过法兰外径的 7 倍
