2026年6月8日覃工电话：15821107090

Thermionics Differentially pumped rotary seals (RNNs) 差分抽气式旋转密封件真空压差旋转密封样品台 RNN™-1000 Series RNN1000

Thermionics Differentially pumped rotary seals (RNNs) 差分抽气式旋转密封件真空压差旋转密封样品台 RNN™-1000 Series RNN1000

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RNN™系列差动抽气式旋转密封装置

差动抽气式旋转密封装置（RNN）可在超高真空系统的真空壁处实现 360° 连续旋转。

差分抽气旋转密封装置（RNN）可在超高真空系统的真空壁上实现360° 全角度连续旋转。该装置设有两级差分抽气结构，依靠特殊密封面上浸石墨的膨体聚四氟乙烯密封件实现隔离。预紧式滚珠轴承组可精准控制旋转工位的位置。

该系列旋转密封装置可选配蜗杆传动微调机构，让角度调节操作更简便、精度更高。同时也可搭配消间隙步进电机或同步电机驱动装置使用。

技术参数

标准通径规格：内径 1.53 英寸至 12 英寸，可按需定制更大尺寸
烘烤耐受温度：最高 150 摄氏度
固定法兰与旋转法兰均带有螺纹孔
整体厚度约为两个康弗拉特法兰的厚度
采用两级差分抽气设计
极限基础真空度：可达 10⁻¹¹ 托量级
标配 0–360° 主刻度及游标刻度

RNN-400 及更大规格机型典型性能参数

分辨率：小于 0.004°
重复定位精度：小于 0.008°
回程间隙：小于 0.035°

读数精度参数

标准主刻度：1.0°
机械计数器读数精度：0.1°
若需达到最高分辨率，需搭配微步电机驱动

可选配置

蜗杆传动微调机构
微调机构数显装置，读数精度 0.1°，机械式结构，不可清零
可加装机械计数器
消间隙步进电机驱动：单步转角 0.018°（RNN-150/MS 型单步转角为 0.0225°），配备手动旋钮
/FA 型设备可定制抽气管长度与曲轴长度

承载载荷

以下为标准最大承载参数，特定工况下可承载更大载荷，定制使用场景请联系厂家咨询。

载荷重心需位于设备极轴周边 X 范围内，X 值为该装置内径的 10%
水平安装工况下，载荷重心与旋转法兰的距离不得超过 Y 值，Y 等于法兰内径
真空腔外载荷整体最大外形尺寸 A 要求：
立式使用：不超过法兰外径的 7 倍
卧式使用：不超过法兰外径的 5 倍
倒置使用：不超过法兰外径的 7 倍