Thermionics Differentially pumped rotary seals (RNNs) 差分抽气式旋转密封件 真空压差旋转密封样品台 RNN™-600 Series RNN600
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差分抽气式旋转密封件（RNN 系列）可在超高真空（UHV）设备真空腔体壁上实现 360° 无间断旋转。该产品采用两级差分抽气结构，依靠镶嵌石墨的膨体聚四氟乙烯 ® 密封圈装配在专用密封面实现腔体分隔密封；预装滚珠轴承组可精准限定旋转部件的安装位置。
RNN 系列可选配蜗杆微调机构，能够实现角度调节更便捷、定位精度更高；产品同时可搭配消回程间隙步进电机或同步电机驱动配置。
目录在售产品内径规格最大至 12 英寸，厂家可定制更大通径产品且成品性能优异，特殊工况需求可联系原厂定制。
- 标准产品通径范围：1.53 英寸～12 英寸，超大口径支持定制
- 最高烘烤温度：150 摄氏度
- 固定法兰与旋转法兰均预留螺纹安装孔
- 法兰厚度约等同于两片康弗莱特（ConFlat）标准法兰厚度
- 采用两级差分抽气设计
- 极限本底真空可达 10⁻¹¹ 托量级
- 标配带游标刻度的 0～360° 角度标尺
- 分辨率：＜0.004°
- 重复定位精度：＜0.008°
- 回程间隙：＜0.035°
- 标准刻度盘分度值：1.0°
- 机械式计数器分度值：0.1°
- 如需达到额定最高分辨率，需配置微步细分电机驱动
- 蜗杆微调驱动组件
- 微调机构配套机械式非归零数字读数装置，读数精度 0.1°
- 可选机械式计数器
- 带手动调节旋钮的消间隙步进电机驱动：标准机型单步转角 0.018°，RNN-150/MS 机型单步转角 0.0225°
- /FA 定制机型可按需定制抽气管道长度与曲轴长度
下述为产品标准额定最大载荷，特殊工况可定制承载规格，重载方案请咨询生产厂家：
- 载荷重心需落在产品极轴 X 范围内，X 取值为产品内径的 10%；
- 卧式安装工况下，载荷重心与旋转法兰端面间距不得超出距离 Y，Y 等于法兰内径；
- 真空腔体外侧载荷外形最大极限尺寸 A：
- 立式安装：法兰外径的 7 倍
- 卧式安装：法兰外径的 5 倍
- 倒装安装：法兰外径的 7 倍
