Thermionics Differentially pumped rotary seals (RNNs) 差分抽气式旋转密封件 真空压差旋转密封样品台 RNN™-800 Series RNN800
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RNN™系列差分抽气旋转密封件
差分抽气旋转密封件(RNN)可在超高真空系统的真空壁上实现 360° 连续旋转。该款 RNN 设有两级差分抽气结构,两级之间通过特殊密封面上的浸石墨膨体聚四氟乙烯(Teflon®)密封件实现隔离。预紧式滚珠轴承组可精准控制旋转部件的位置。
该系列密封件可选配蜗杆传动微调装置,让角度调节操作更简便、精度更高。同时也可搭配消间隙步进电机或同步电机驱动结构。
目前现货规格内径最大可达 12 英寸,更大内径的产品也已完成定制生产,运行性能表现优异。

・标准内径规格为 1.53 英寸至 12 英寸,可按需定制更大尺寸
・最高耐温烘烤温度可达 150 摄氏度
・配备固定式与旋转式螺纹法兰
・厚度约为两个康弗莱特型法兰的厚度
・二级差分抽气结构
・极限真空度可达 10⁻¹¹ 托级别
・标配 0–360° 带游标刻度盘
・分辨率:小于 0.004°
・重复定位精度:小于 0.008°
・回程间隙:小于 0.035°
・标准刻度:1.0°
・机械计数器:0.1°
・如需达到最大分辨率,需搭配微步电机驱动
・微调蜗杆传动机构
・微调机构机械式数显装置,读数精度 0.1°,数值不可清零
・可加装机械计数器
・消间隙步进电机驱动:整步精度 0.018°(RNN-150/MS 型号整步精度 0.0225°),附带手动旋钮
・/FA 型设备可定制抽气管长度与曲轴长度
以下为标准最大负载参数,特定工况下可承载更大负载,定制使用场景请联系厂家咨询。
・负载重心需位于设备极轴的 X 范围内,X 取值为 RNN 内径的 10%
・设备水平安装时,负载重心与旋转法兰的距离不得超过 Y,Y 为法兰内径
・真空腔外负载整体最大外形尺寸 A 要求:
垂直使用:法兰外径的 7 倍
水平使用:法兰外径的 5 倍
倒置使用:法兰外径的 7 倍