差分抽气式旋转密封件（RNN 系列）可在超高真空（UHV）设备真空腔壁上实现 360° 无间断旋转。该产品配置两级差分抽气结构，两级腔体通过特种密封面上浸渍石墨的膨体聚四氟乙烯 ® 密封圈实现隔离；预装式滚珠轴承组可精准限定旋转部件位置。
RNN 系列可选配蜗杆微调机构，实现角度调节更便捷、精准；同时可搭配消间隙步进电机或同步电机驱动结构。
现有在售产品内径规格最大可达 12 英寸，厂商可定制更大通径产品且性能优异，特殊工况需求可联系原厂定制。
- 标准通径内径：1.53 英寸～12 英寸，可按需定制更大规格
- 最高烘烤温度：150 摄氏度
- 固定法兰与旋转法兰均预留螺纹安装孔
- 法兰厚度约等于两片康菲莱（ConFlat）标准法兰厚度之和
- 抽气结构：两级差分抽气
- 极限本底真空：10⁻¹¹ 托量级
- 标配带游标刻度盘，量程 0～360°
- 分辨精度：＜0.004°
- 重复定位精度：＜0.008°
- 回程间隙：＜0.035°
- 标配刻度盘分度值：1.0°
- 机械式计数器分度值：0.1°
- 如需达到极限分辨精度，需选配微步细分电机驱动
- 蜗杆精密微调机构
- 微调机构配套机械式不可清零数显组件，读数分度 0.1°
- 可选机械式计数装置
- 带手动调节旋钮的消间隙步进电机驱动：常规型号整步步距 0.018°；RNN-150/MS 型号整步步距 0.0225°
- /FA 定制机型可按需定制抽气管长度、曲轴长度
下文为产品标准最大额定载荷，特殊工况可定制承载能力，非标应用请咨询原厂。
- 负载重心需落在设备极轴 X 范围内，X 取值为产品通径内径的 10%；
- 卧式安装工况下，负载重心距离旋转法兰端面不得超出距离 Y，Y 等于法兰通径内径；
- 真空腔外侧负载外形最大外廓尺寸 A 限定：
立式安装：法兰外径的 7 倍｜卧式安装：法兰外径的 5 倍｜倒置安装：法兰外径的 7 倍
