Thermionics Differentially pumped rotary seals (RNNs) 差分抽气式旋转密封件 真空压差旋转密封样品台 RNN™-150 Series RNN150
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差分抽气旋转密封件（RNN 系列）可在超高真空（UHV）系统真空隔板处实现 360° 无间断连续旋转。该 RNN 产品配置两级差分抽气结构，两级之间依托特种密封面上浸渍石墨的膨体聚四氟乙烯 ® 密封件实现隔离密封；预装式滚珠轴承组可精准限定旋转部件的安装位置。
RNN 系列可选配蜗杆微调机构，便于实现更简便、高精度的角度调节；同时也可搭配消间隙步进电机或同步电机驱动结构。
现有在售 RNN 产品内径规格最大至 12 英寸，更大通径规格产品已完成试制且性能优异，特殊工况需求可咨询原厂定制。
- 标准通径内径规格：1.53 英寸～12 英寸，超大口径可按需定制
- 可耐受最高烘烤温度：150 摄氏度
- 固定法兰与旋转法兰均预留螺纹安装孔
- 法兰厚度约等同于两片康福莱（ConFlat）标准法兰厚度
- 采用两级差分抽气设计
- 极限本底真空可达 10⁻¹¹ 托量级
- 标配带游标刻度的 0～360° 分度标尺
- 分辨率：＜0.004°
- 重复定位精度：＜0.008°
- 回程间隙：＜0.035°
- 标准主刻度：1.0°
- 机械式计数器分度：0.1°
- 如需达到额定最高分辨率，需配置微步细分电机驱动
- 蜗杆精密微调机构
- 微调机构选配机械式不可清零数显装置，读数分度 0.1°
- 可选配机械式计数器
- 消间隙步进电机驱动：整步步距 0.018°（RNN-150/MS 型号整步步距 0.0225°），附带手动调节旋钮
- /FA 定制机型可按需定制抽气导管长度与曲轴长度
下述为产品标准额定最大承载载荷，特殊工况可承接超重负载，定制需求请联系原厂。
