VPM-5 SmartPirani™ 真空变送器
- 超宽测量范围
覆盖 9 个数量级，测量范围 1×10⁻⁶ 至 1333 毫巴
- 耐腐蚀性
可选陶瓷或派瑞林（Parylene）传感器防护层
- 与气体无关的测量
2 至 1333 毫巴范围内采用精密隔膜传感器，测量不受气体类型影响
- 卓越的性价比
为各类真空应用提供行业领先的性能表现
VPM-5 SmartPirani™ 真空变送器采用前沿技术打造，性能处于行业领先水平，将热传导真空计的有效测量范围扩展了 1-3 个数量级，树立了新的性能标杆。
SmartPirani™ 基于先进的 MEMS（微机电系统）传感器技术，搭配创新的精密数字信号处理架构与高级测量算法。结合精密自动化制造与校准工艺，这些元素共同打造出性能无妥协的独特产品。
热门产品
| 型号 | 接口 | 传感器类型 | 数字接口 | 单位 | 模拟输出 | 设定点继电器 | 连接器 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VPM-5-10101232 | DN16KF 法兰 | 标准传感器 | RS-232 | 毫巴 | 标准模拟输出 | 3 路设定点继电器 | 15 针高密度 D-Sub |
| VPM-5-10201132 | DN16KF 法兰 | 标准传感器 | RS-485 | 毫巴 | 标准模拟输出 | 3 路设定点继电器 | 15 针高密度 D-Sub |
| VPM-5-10101111 | DN16KF 法兰 | 标准传感器 | RS-232 | 毫巴 | 标准模拟输出 | 1 路设定点继电器 | 9 针 D-Sub |
| VPM-5-10102232 | DN16KF 法兰 | 标准传感器 | RS-232 | 托 | MKS 900 模拟输出 | 3 路设定点继电器 | 15 针高密度 D-Sub |
领先的真空测量技术
VPM-5 SmartPirani™ 变送器表现卓越，将热传导真空计的有效测量范围扩展了 1-3 个数量级，树立了真空测量领域的新标杆。
通过集成 MEMS 隔膜传感器，消除了热传导真空计在粗真空范围内常见的气体依赖性问题，其测量精度可媲美更昂贵的电容式压力计。测量结果不受气体类型和浓度影响，提升了测量的可靠性，也让真空系统泄压过程的控制更精准，有助于防止系统过压。
实时压力读数
集成显示屏可在 1×10⁻⁶至 1333 毫巴的全量程内，直观显示实时真空压力。
- 除实时压力读数外，界面还显示当前设定点继电器状态和真空过程温度，增强关键真空操作中的工况感知能力与响应速度。
- 直观菜单系统可直接访问关键变送器设置和校准参数，支持设定点配置，实现快速配置与高效操作。
- PIN 码显示锁可防止未授权人员修改设置。
专为挑战性工业应用优化
对于传感器可能接触腐蚀性或侵蚀性气体的应用，SmartPirani™ 可选配保形防护涂层作为有效屏蔽层。
- 可选陶瓷或派瑞林（Parylene）防护屏障：陶瓷是一种高耐腐蚀材料，广泛用于电容薄膜真空计的真空传感器隔膜；派瑞林是一种特殊聚合物，具备优异的耐腐蚀性与疏水性，适用于冻干、灭菌等医疗应用场景。
- 可选防护挡板：在可能损坏真空计的含颗粒物真空工艺中，可阻挡宏观颗粒物污染。结合防护涂层选项，这些新型 SmartPirani™变送器专为在严苛真空环境中可靠运行而设计。
先进真空工艺的测量与控制
VPM-5 SmartPirani™ 专为行业领先的真空气体压力测量与控制打造，多种输出选项可提供远超压力测量信号本身的功能。
- 灵活的模拟输出，适配工业控制系统：模拟输出电压可为外部读取或控制提供信号。VPM-5 提供标准的 1V / 十倍程电压输出信号（单位：毫巴、托或帕），也可由用户配置或预配置多种其他模拟输出选项，实现与其他厂商真空计的无缝即插即用替换。
- 支持数字连接至外部设备：RS-232 和 RS-485 串行接口可用于向外部设备传输压力与温度测量数据，支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出标定，以及实时真空压力测量数据的采集与屏幕可视化。
带可配置设定点的可靠继电器控制
三个独立的固态开关继电器可用于外部控制泵、阀门、安全联锁电路及其他外部设备。
- 相比机电继电器，固态继电器可靠性更高、开关速度更快，且无电弧触点，开关时不会产生电磁干扰（EMI）。
- SmartPirani™ 继电器设计耐用，通过 UL、CSA 认证，符合 EN/IEC 60950-1 标准，在关键真空工艺和高循环应用中使用更有保障。
跨厂商兼容，实现灵活集成
VPM-5 SmartPirani™ 变送器提供引脚兼容、模拟电压压力信号仿真和数字协议仿真功能，可与其他厂商的真空变送器和发射器无缝集成。
- 这些仿真功能可实现传统钨丝皮拉尼变送器、对流真空计和 legacy 微皮拉尼变送器的轻松升级，用户无需修改布线或系统软件即可过渡到新一代真空技术。
- 通过替换老旧真空计和变送器，VPM-5 SmartPirani™ 可在各类应用中实现成本节约并提升测量性能，同时确保与其他厂商控制器和显示单元的兼容性。
通过供电线路实现数字连接
传统上，其他厂商配备 FCC68/RJ45/8P8C 和 Hirschmann 连接器的皮拉尼变送器不支持数字通信。VPM-5 变送器的创新 S4-Connect 接口可通过供电线路实现数字通信，配套的 S4-Connect USB 通信器可轻松配置变送器设置、进行诊断和校准调整。
可定制参数，匹配应用需求
VPM-5 变送器可根据特定应用需求提供定制配置，确保开箱即可无缝集成并投入使用。预配置选项包括测量范围、真空压力单位、设定点设置和输出信号标定。每台定制产品均分配唯一零件编号，简化后续采购流程并确保一致性。
行业应用与市场聚焦
VPM-5 SmartPirani™ 专为先进真空工艺的可靠测量与控制设计，适用于广泛的工业与科学应用场景，同时提供多种配置方案满足不同应用需求。典型应用包括：
- 氢气供应：氢气储罐和供应管线中绝缘真空的测量与监测。
- 半导体：半导体制造中 CVD、PVD 和前级真空应用的测量，可选耐腐蚀陶瓷传感器。
- 质谱仪：在质谱仪设备中发挥 VPM-5 的低压测量能力优势。
- 空间模拟：模拟太空恶劣环境时测量真空气体压力。
- PVD 涂层：带可维护挡板的 VPM-5 可用于物理气相沉积（PVD）涂层应用，延长设备使用寿命。
- 炉体设备：真空热处理过程中测量与控制真空度，工业应用可选配挡板与涂层防护。
