VPi-5 iVacSens™ OEM 真空变送器
MEMS 皮拉尼与压电传感器宽量程 MEMS 皮拉尼传感器，测量范围 1×10⁻⁶ 至 1333 毫巴
耐腐蚀性可选陶瓷或派瑞林（Parylene）传感器防护层
模拟与数字接口支持 UART、RS-485 数字接口，模拟电压输出及设定点功能
高集成度设计可直接集成并对接客户设备
iVacSens™系列真空变送器模块是全球最小的宽量程多功能真空计模块，功能齐全，相当于一台完整的传统真空变送器，出厂前已完成预校准，开箱即可直接使用。
专为无缝集成到高性能真空设备设计，iVacSens™非常适合集成到质谱仪、扫描电子显微镜等分析仪器中。
iVacSens™采用经过验证且性能领先的 SmartPirani™ MEMS 热损耗传感器，搭配压电隔膜传感器，相比传统钨丝皮拉尼真空计、对流真空计和 legacy MEMS 皮拉尼传感器，提供行业领先的性能、更宽的测量范围和更高的精度。
领先的真空测量技术
VPi-5 iVacSens™采用性能领先的 MEMS 热损耗皮拉尼传感器，搭配压电隔膜传感器，可测量 1×10⁻⁶ 毫巴至 1333 毫巴（7.5×10⁻⁶ 至 1000 托）的压力。
精密压电隔膜传感器消除了皮拉尼真空计在 2-1333 毫巴范围内常见的测量误差（这类误差通常受气体类型或成分变化影响）。所有测量值均可通过 UART 或 RS-485 数字接口获取，方便集成到各类系统中。同时可监测温度参数，发出警告或控制信号，支持设备过热停机或预测性维护策略。
定制化解决方案
变送器模块可通过定制特定设定点开关值和其他数字参数，满足多样化的应用需求。针对 OEM 客户，Sens4 提供定制化解决方案，包括定制安装法兰、接口、数字协议和线缆，实现与专用设备设计的无缝集成。
灵活的操作与配置
iVacSens™提供多种模拟和数字操作模式，可无缝集成到客户设备中。
- 模拟电压输出：标准模拟电压输出提供 150mV / 十倍程的信号，可连接外部模数转换器，方便数据采集。
- 通用异步收发器（UART）：UART 接口可直接连接主机微控制器，支持测量数据的数字采集和变送器模块的配置。
- RS-485 接口：支持多个 iVacSens™设备的并行连接，每个变送器可独立寻址。该标准化接口确保与外部系统的便捷通信，并与 VPM-5 和 VPM-7 SmartPirani™变送器系列兼容。
设定点控制输出
三个独立的设定点可在用户定义的压力阈值处输出数字信号，使 iVacSens™可作为压力开关使用，控制真空工艺或确保离子源等设备获得足够的真空度。设定点功能也可作为安全联锁开关，提升关键应用的操作安全性。
快速上手
iVacSens™评估套件可帮助用户轻松探索其功能，并在集成到设备前评估其测量性能。套件配备 USB 连接和评估软件，简化设置和数据分析流程。为方便使用，评估传感器模块已预安装在 DN16KF 真空法兰上，可直接安装到真空系统中。
应用与市场
VPi-5 iVacSens™专为先进真空工艺的精准测量与控制设计，适用于广泛的工业与科学应用场景，同时提供多种配置方案满足不同应用需求。典型应用包括：
- 氢气供应：氢气储罐和供应管线中绝缘真空的测量与监测。
- 半导体：半导体制造中 CVD、PVD 和前级真空应用的测量，可选耐腐蚀陶瓷传感器。
- 质谱仪：在质谱仪设备中发挥设备的低压测量能力优势。
- 空间模拟：模拟太空恶劣环境时测量真空气体压力。
- PVD 涂层：带可维护挡板防护的设备可用于物理气相沉积（PVD）涂层应用，延长设备使用寿命。
- 前级真空：适用于前级真空测量，设定点继电器可通过编程向外部设备提供控制信号。
