SENS4 VPM-17 TriCAP 真空转换器,压力传感器

SENS4 VPM-17 TriCAP 真空转换器,压力传感器

SENS4 VPM-17 TriCAP™ ATM 转换器作为一款一体化测量解决方案,为广泛的真空应用设立了新标准。与其他真空计不同,它提供了一个从 5.0E-3 到 1333 mbar 的经济实惠、独立于气体的测量范围,并具有低至 1E-6 mbar 的 Pirani 热损测量能力。

在气体成分或类型可能变化的真空应用中,传统的依赖气体的Pirani计可能会导致测量不准确。SENS4 TriCAP™ ATM传感器融合了一个精密电容式膜片计(CDG)传感器,消除了对气体的依赖,即使在气体性质变化的情况下也能确保准确的测量。

除了真空测量SENS4 VPM-17 还能够相对于大气压测量压力,从而准确控制真空系统排气。

重新思考真空测量

SENS4 TriCAP™ ATM 是一种真正的新型多传感器真空计,是传统 Pirani 计应用性能升级的选择,或者是应用中使用单独电容式压力计和 Pirani 计的优化成本的一体化解决方案。

VPM-17 测量范围

CDG 自动归零调整

集成式热损失MEMS Pirani传感器将测量范围扩展至低至1E-6 mbar,并引入了创新的自动零调整功能,消除了传统电容膜计中典型的手动零调需求。无需手动按钮零调—只需泵降至自动零调点,电容膜计就会自动调整并准备好进行准确测量。

在苛刻的应用中实现使用

对于传感器可能暴露于腐蚀性或攻击性气体的应用,SENS 4 TriCAP™ 可以配备 conformal 保护涂层,起到有效的屏障作用。

SENS4 TriCAP™ 传感器系列还提供可选的陶瓷或 Parylene 保护层,以防止传感器材料的腐蚀或氧化。陶瓷具有高度的耐腐蚀性,广泛用于真空传感器膜片中的电容膜片计。Parylene 是一种具有优异耐腐蚀性和疏水性的特殊聚合物,非常适合用于如冻干和灭菌等医疗应用。

在某些真空过程中,颗粒可能会对真空计构成威胁。对于这些应用,SENS4 TriCAP™ 传感器提供带有防护挡板的选项,以防止宏观颗粒的侵害。当与防护涂层选项结合时,SENS4 TriCAP™ 传感器被设计为能够承受苛刻的真空环境。

 

VPM-17 带挡板的TriCAP
模拟输出提供了广泛的模拟输出缩放选项,以模拟其他供应商的真空计和传感器。 

可选的二次模拟输出可实现对外部监测的全范围真空压力和大气压力相对压力信号的监测。

模拟输出电压提供外部读取或控制的信号。SENS4 VPM-17 标准提供 1VDC/decade mbar、Torr 或 Pascal 的电压输出信号。 

 

VPM-17标准模拟电压输出

SENS4 VPM-17 TriCAP 真空转换器规格:


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