VPM-5 SmartPirani™ 换能器

VPM-5 SmartPirani™真空换能器基于尖端技术，提供同级最佳性能，并通过将热导率真空计的可用真空测量范围延长1至30年，确立了新的性能标准。

SmartPirani™基于尖端的微机电系统（MEMS）传感器技术，结合了新颖的精密数字信号处理架构和先进的创新测量算法。结合精密自动化制造和校准工艺，这些元素结合，打造出能够实现不妥协测量性能的独特产品。

领先的真空测量技术

VPM-5 SmartPirani™换能器性能卓越，在真空测量领域树立新标杆，将热导率真空计的可用测量范围延长了1至30年。

通过集成MEMS光阑传感器，已消除热导率计粗略真空范围的气体依赖，其精度性能可媲美更昂贵的电容压力计。测量不受气体类型和浓度影响，增强了测量的信心，确保真空系统排气过程的更精确控制，有助于防止真空系统过压。

集成显示提供实时、一目了然地看到全区真空压力测量范围为1×10⁻⁶至1333毫巴。

除了活压外读数，界面显示当前设定点继电器状态和真空过程温度，增强态势感知并加快速度关键真空操作期间的响应。

直观的菜单系统允许可直接访问关键传感器设置和校准参数、设定点配置，支持快速配置和高效操作来自装置。

PIN码显示锁防止未经授权的人员更改设置。

对于传感器可能暴露于腐蚀性或侵袭性气体的应用，SmartPirani™配备了贴合保护涂层，作为有效的屏障。

SmartPirani™换能器系列现已可选配陶瓷或二烯保护屏障，防止传感器材料腐蚀或氧化。陶瓷具有高度耐腐蚀性，是电容式隔膜真空传感器隔膜的有效材料。二烯是一种独特的聚合物，具有高度耐腐蚀性和疏水性。帕里烯屏障设计用于医疗应用，包括冻干和灭菌。

在某些真空过程中，颗粒物会损坏真空计。针对这些应用，SmartPirani™换能器配备了保护挡板，作为对宏观粒子的屏障。结合保护涂层选项，新型SmartPirani™换能器专为恶劣的真空环境设计。