丹麦SENS4 VPM-7-10101232 真空气体压力变送器
SENS4 VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器专为半导体负载锁精确压力控制和其他需要相对于大气环境压力的准确压力测量的真空应用而设计。
它提供了同类中最好的性能，具有更宽的测量范围、更高的精度和比传统负载锁传感器更快的测量周期，以及其他负载锁传感器解决方案。
SENS4 SmartPirani™ ATM通过将热导率Pirani热损失真空计的可使用测量范围扩展1-3个数量级，已经建立了新的标准。
SENS4一体化多传感器真空计解决方案
SENS4 VPM-7 是一款真正的多传感器真空计，具备四路压力输出：大气压环境传感器、宽量程热损失型皮拉尼传感器、绝对电容薄膜传感器，以及一个相对大气压的信号输出。这些传感器协同工作，可在现代装载锁真空室中优化实现精确的压力控制。其中，电容薄膜传感器可提供与气体种类无关的精密绝对压力读数，量程为 2 至 1333 mbar（1.5 至 1000 Torr）。
装载锁（Load-lock）是一种真空腔室，用于将半导体晶圆等器件从常压环境送入真空工艺腔室。装载锁通常在大气压与将晶圆传送至工艺腔室所需的适当真空度之间循环。装载锁内部的精确压力控制对于防止环境空气和颗粒物的污染至关重要，从而保护腔室及晶圆本身。
装载锁过程的测量与控制
SENS4 VPM-7 SmartPirani™ ATM 专为实现卓越的真空气体压力测量与控制而设计。多种输出选项提供的不仅是一个压力测量信号。
SENS4 VPM-7 SmartPirani™ ATM可靠的设定点继电器控制
三个独立的固态开关继电器可用于外部控制装载锁的压力循环，包括泵、阀门、安全互锁电路、PLC 及其他设备。
与机电继电器不同，固态继电器具有更高的可靠性和更快的开关时间，触头无电弧，且在开关过程中不产生 EMI（电磁干扰）。
SENS4 SmartPirani™ ATM 继电器设计坚固耐用，已通过 UL 列名、CSA 认证以及 EN/IEC 60950-1 认证，确保在关键真空工艺和高频次循环应用中具有可靠的性能。
模拟输出
模拟输出电压为外部监测或控制提供信号。SENS4 VPM-7 提供标准的每十倍频程 1 VDC 电压输出，支持 mbar、Torr 或 Pascal 单位。
此外，用户还可根据需求配置或预配置多种其他模拟输出选项，从而能够无缝替代其他制造商的真空计。
数字接口
RS-232和RS-485串行接口便于将压力和温度测量数据传输到外部设备。
这个数字接口支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及真空压力测量的实时获取，用于屏幕可视化。
耐腐蚀传感器
通常情况下，装载锁的安装环境较为洁净，不含腐蚀性气体。然而，可选配的耐腐蚀传感器使得 SENS4 VPM-7 SmartPirani™ ATM 能够在存在侵蚀性化学品或残余刻蚀气体的应用场景中使用。
陶瓷是一种高度耐腐蚀的材料，常用于电容薄膜真空计中的传感器薄膜。
聚对二甲苯（Parylene）是一种独特的聚合物，以其出色的耐腐蚀性和疏水性能而著称。
