PREVAC 5mbar XPS/UPS system XPS（ESCA）/ UPS 5 mbar-10 -10 mbar 真空表面分析系统
专门用于XPS（ESCA）/ UPS实验的系统，压力范围为5 mbar-10 -10 mbar，样品温度可控。设备提供完整的PLC保护和软件控制，包括对机器状态的清晰可视化，数据采集，对所有集成设备，电源和辅助设备的控制。
- 分析室-由μ金属制成，带有用于电流和其他设备的连接法兰。基本压力范围10 -10 mbar（在120ºC烘烤后），
- EA15-HP5半球能量分析仪（XPS / UPS）-配备了11个狭缝，可以在最佳能量分辨率和最佳强度之间进行选择。平均半径：150毫米。
- X射线源RS 40B1 （HP版）-高强度双阳极X射线源，
- 带有带有电子装置的单色仪RMC50（HP版）的X射线源（发射控制器，冷却箱和用于操作RMC50和RS40B1 X射线源的HV电源），
- 紫外线源UVS 40A2，
- RUDI-EA2-高稳定度和低噪音的电子产品，
- SPECTRIUM-在处理和直观的图形界面方面的先进且经过优化的软件工具，
- 用于PTS样品架的4轴全电动UHV机械手（带有加热和LN 2冷却），
- 分析室，高压分析仪和分析组件的泵送系统，
- 分析室的气体定量给料系统。
