PREVAC的表面分析系统产品线基于高度灵活的分析工具，该工具针对XPS（ESCA），UPS，ARPES，ISS和AES测量进行了优化。半球分析仪的能量分辨率小于3 meV（通过能量为2 eV时的FWHM）。除了光谱仪外，还提供了通用控制软件，该软件以开放标准格式（JSON）存储数据，并允许将数据导出为其他各种格式（hdf5，ini，txt），供不同的独立XPS评估程序使用。
- 分析室-由μ金属制成，带有用于电流和其他设备的连接法兰。基本压力范围10 -10 mbar（在150ºC烘烤后），
- EA15半球形能量分析仪-配备了11个狭缝，可以在最佳能量分辨率和最佳强度之间进行选择。平均半径：150毫米。动能范围：0.5-3000 eV，
- X射线源RS 40B1 –高强度双阳极型X射线源，
- 带有带有电子装置的单色仪RMC50的X射线源（发射控制器，冷却箱和用于操作RMC50和RS40B1 X射线源的HV电源），
- 紫外线源UVS 40A2，
- 离子源IS 40E1
- 洪水源FS 40A1
- RUDI-EA2-高稳定度和低噪音的电子产品，
- SPECTRIUM-在处理和直观的图形界面方面的先进且经过优化的软件工具，
- 可靠的4-5-6轴全电动UHV机械手（带有加热和冷却），
- 用于分析室和分析部件的泵送系统，
- 分析室的气体定量给料系统。
