PREVAC ARPES 特高压系统 ARPES UHV system [project 418]
传输系统：
Flag Style 样品架
系统配置：
– 带有双层 mu 金属衬里的分析室，保证剩余磁场低于 0.1 微特斯拉，基本压力范围为 5*10 -11毫巴，包括：
- 具有 LHe 冷却功能的闭合循环高分辨率操纵器（样品温度低至 15K）——全电动
- 针对极其苛刻的应用进行了优化，高精度 ARPES 电子分析仪
- 具有专用泵送系统的用于 UPS 测量的单色 UV 源
– 装载锁定室允许装载多达 12 个 Flag 样式的样品架
– 制备室安装在分析室的顶部，允许对两个室使用一个机械手，包括：
- 用于样品清洁的离子溅射源
- 沉积速率测量系统：石英平衡和厚度监视器
- 金蒸发器（Efusion cell）
- LEED 带多通道板，用于 Leed/Auger 测量
– 存储室，包括用于 12 旗式样品架的停放机制
– 用于转移样品的径向分配室 (UFO) 在 UHV 压力下在室之间转移
– 配件：
- 一套专用、多功能、多材料样品架
- 所有电子单元的特殊机架
- 特殊设计的烘烤系统
