Polygon Physics CF40 法兰紧凑型电子回旋共振离子源 TES-40

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CF40 法兰紧凑型电子回旋共振离子源，最高束压 5 千伏

TES-40 型离子源基于安装在 ConFlat CF40 法兰上的 TES 谐振腔设计，可承受最高 5 千伏的束流能量。

TES-40 提供三种型号：

选配双极模式后，可交替产生离子束与电子束，实现单台离子源满足多种应用需求。

TES-40	electrons-neutralizer	ions-broad beam	ions-high brightness
Applications	Electron chemistry, neutralization	Etching, sputtering, surface activation	Etching, figuring, sputtering, surface activation
Energy range	0.1 – 5 kV	0.1 – 5 kV	0.1 – 5 kV
Current	0.1 to 50 mA	0.3 to 3 mA	10 to 500 µA
Beam size (typ. @ 4 cm)	3-30 mm	Energy dependent	0.3 to 15mm
Insertion depth	137 mm / 190 mm with Einzel	137 mm	190 mm with Einzel

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