Piezomotor电压电机Piezo LEGS® LL06 线性压电执行器亚纳米级微步进
微型身躯，纳米级精密运动｜Piezo LEGS® LL06 线性压电执行器
当精密定位遇上空间限制，如何兼顾微型化、高精度与可靠保持？
来自Acuvi/ PiezoMotor的 Piezo LEGS® LL06 线性压电执行器，以紧凑设计与直驱技术，为精密运动控制带来更多可能。
🔹 超紧凑设计：重量仅 16 g，适用于空间受限的 OEM 集成应用
🔹 纳米级定位：支持亚纳米级微步进，最小增量运动可达 0.5 nm
🔹 无回程间隙直驱：无需齿轮或丝杆传动，提升运动精度
🔹 断电自锁保持：保持力超过 6.5 N，保持位置时无需持续供电
🔹 灵活配置：可选内置编码器与导向结构，满足不同精密定位需求
典型应用方向：
精密光学、半导体设备、实验室仪器、医疗设备及高精度 OEM 自动化系统。
让微小空间承载精密运动，让每一次定位都更精准。
核心产品优势
- 超紧凑设计，整机重量仅约 16 g
- 纳米级运动分辨率，低于 1 nm
- 直驱结构，无机械回程间隙
- 断电自锁，保持位置无需持续供电
- 最大保持力超过 6.5 N
- 可选内置高分辨率光学编码器
- 支持开环及闭环控制
主要技术参数
| 参数 | 技术规格 |
|---|---|
| 型号 | Piezo LEGS® LL06 |
| 最大行程 | 74.1 mm |
| 运动分辨率 | ＜1 nm |
| 全步长 | 4.5 μm |
| 速度范围 | 0.1 nm/s – 20 mm/s（依驱动波形及配置而定） |
| 最大失速力 | 6.5 N |
| 保持力 | ＞6.5 N |
| 最大工作频率 | 2.5 kHz（取决于驱动器） |
| 工作电压 | 0–48 V |
| 功耗 | 5 mW/Hz |
| 编码器分辨率 | 1.25 μm / 80 nm（可选） |
| 外形尺寸（含导向及编码器） | 23.4 × 19.6 × 10.5 mm |
| 外形尺寸（不含导向及编码器） | 17 × 19.6 × 10.5 mm |
| 重量 | 约 16 g（50 mm 驱动杆） |
| 工作温度 | -20°C 至 +70°C |
| 驱动控制 | Open Loop / Closed Loop |
典型应用
- 精密光学定位与调整
- 半导体及微纳制造设备
- 显微镜及实验室仪器
- 医疗与生命科学设备
- 高精度自动化及 OEM 集成系统
