Piezomotor压电直线执行器Piezo LEGS® LT20搭配PMD301独立控制器亚纳米定位

Piezomotor压电直线执行器Piezo LEGS® LT20搭配PMD301独立控制器亚纳米定位

LT20 是 PiezoMotor 面向 OEM 设备开发的 20N 压电直线电机,采用 Piezo LEGS 行走式压电直驱原理,无齿轮、丝杠等中间传动机构,零背隙,主打小体积、纳米级定位,提供标准 (A)、无磁 (C)、无磁真空 (D) 三个版本,适配常压、强磁场、高真空多种工况。

核心特点

  1. 直驱断电自锁:停止保载状态下不消耗电能,无机械回差,启停响应迅速,高速动态性能优异。
  2. 多工况版本:普通版不锈钢壳体;无磁版采用 Arcap 无磁合金;无磁真空版可支持10⁻⁷torr 高真空环境,不受外磁场干扰,自身也不产生磁场。
  3. 高定位性能:配合驱动器微细分,可达亚纳米级定位分辨率;速度跨度极大:1 nm/s~24 mm/s,全步长 3.3 μm。
  4. 小巧轻量化:外形尺寸 22 × 21.8 × 10.8 mm,带 50 mm 推杆整机仅 29 g,推力 20 N,保持力>20 N,推重比优异。
  5. 无内置编码器,支持开环、闭环控制,需外接编码器。

关键参数(20℃空载)

项目参数
堵转推力20 N
保持力>20 N
最大行程74.5 mm(取决于推杆长度)
速度范围1 nm/s‑20 mm/s(波形 Rhomb 最高 24 mm/s)
最大工作频率2.5 kHz
供电电压48 V
功耗10 mW/Hz
工作温度-20~+70 ℃
真空型号耐压10⁻⁷ torr
重量29 g(配 50 mm 驱动杆)

典型应用场景

  1. 半导体设备:晶圆切片抛光、光刻、离子注入、晶圆检测与量测设备;
  2. 医疗设备:给药系统、手术机器人、诊断成像设备、医用物料处理机构。

配套控制器与评估套件

  1. PMD401 微型驱动板:支持 8192 微步细分,实现亚纳米定位;支持 RS485 ASCII 指令,可堆叠扩展多轴,支持 SPI 外接上位运动控制器,具备数字 IO。
  2. PMD301 独立控制器:整机式控制器,可多台级联,支持 RS485、SPI / 模拟量控制速度。
  3. Starter Kit 评估套件:含电机、驱动板、线缆、电源;搭配免费 DriveLab 上位软件,Windows 平台快速完成开环 / 闭环调试,缩短 OEM 开发周期;客户也可获取驱动授权自主开发驱动电路。

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