Piezomotor压电执行器6.5N压电直线电机Piezo LEGS® LL10零背隙断电自锁

Piezomotor压电执行器6.5N压电直线电机Piezo LEGS® LL10零背隙断电自锁

瑞典 PiezoMotor 行走式压电电机,零背隙断电自锁,解决强磁场、真空腔体精密运动难题,面向半导体、医疗 MRI、光学科研 OEM 集成

PiezoMotor 压电直线电机 LL10D LT20 无磁真空纳米定位执行器

传统步进、伺服、丝杠模组在精密腔体项目中常常遇到瓶颈:传动背隙降低定位精度、电磁绕组产生磁场干扰成像、真空工况润滑挥发污染样品、保载持续发热、体积过大难以嵌入狭小设备。
PiezoMotor Piezo LEGS® 压电直线执行器采用仿生行走压电直驱原理,无齿轮、无丝杠、无中间传动副,从底层规避电磁电机固有短板,为严苛工况提供稳定纳米级直线运动方案。
专为紧凑安装空间设计,整机仅 23 g;D 版本采用 Arcap 无磁合金壳体,距外壳 10 mm 磁通密度<1 nT,不自产磁场、抗外部强磁场干扰;低出气材料,支持 125℃烘烤除气,兼容 10⁻⁷ torr 高真空。

速度范围:1 μm/s ~ 15 mm/s,最长行程 74.5 mm(推杆定制),适合空间受限的精密微调机构。

LL10D|6.5N 微型无磁真空压电直线电机

专为紧凑安装空间设计,整机仅 23 g;D 版本采用 Arcap 无磁合金壳体,距外壳 10 mm 磁通密度<1 nT,不自产磁场、抗外部强磁场干扰;低出气材料,支持 125℃烘烤除气,兼容 10⁻⁷ torr 高真空。

速度范围:1 μm/s ~ 15 mm/s,最长行程 74.5 mm(推杆定制),适合空间受限的精密微调机构。

🔹 零背隙直驱:摩擦行走驱动,无传动间隙,启停响应快,亚纳米定位分辨率

🔹 断电自锁:停止位置依靠摩擦力锁止,保载不耗电,大幅降低真空腔体热积累

🔹 无磁可选:无磁版本适配 MRI、电子束、电镜设备,不干扰磁场检测与成像

🔹 高真空兼容:低出气真空型号,烘烤稳定,无油无润滑,不污染腔体与样品

🔹 宽速度区间:nm/s 级微进给至 24 mm/s 高速运动,同一支电机覆盖快慢场景

典型应用场景

▫️半导体检测、探针台、晶圆调平、光刻量测、离子注入真空腔体

▫️医疗设备:MRI 兼容执行机构、显微操作、精密给药、诊断仪器

▫️光学与激光:光路对准、滤光片切换、干涉仪、显微镜载台微调

▫️科研仪器:电子光学设备、真空实验平台、特种精密自动化装置

驱动与评估配套

标配配套 PMD401 微型驱动板,8192 细分微步,支持 RS485 ASCII 通信、SPI 对接上位控制器,支持多轴堆叠;

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