Piezomotor 40N高推力亚纳米级精密定位Piezo LEGS® LT40 高精度线性压电电机
在半导体制造、精密光学及真空设备领域，如何在复杂环境下实现高推力与超高精度运动控制？
来自 Acuvi / PiezoMotor 的 Piezo LEGS® LT40 线性压电电机，采用创新压电驱动技术，将高推力输出与纳米级精密定位相结合，为高端精密运动控制及 OEM 设备集成提供可靠解决方案。
一、核心产品优势
🔹 高推力输出： 最大失速力及保持力超过 40 N，兼顾精密定位与稳定保持。
🔹 亚纳米级定位： 支持亚纳米级微步进运动，满足超高精度定位需求。
🔹 真空兼容设计： 专用版本可应用于最高达 10⁻⁷ Torr 的真空环境。
🔹 非磁性结构： 提供非磁性版本，适用于对磁场干扰敏感的精密设备。
🔹 零回程间隙： 直线驱动结构，无需齿轮或丝杆传动，减少机械传动误差。
🔹 断电自锁： 无需持续供电即可保持当前位置，有助于降低系统能耗。
🔹 宽范围速度控制： 支持从纳米每秒到毫米每秒的精密运动调节。
二、主要技术参数
| 技术参数 | 规格 |
|---|---|
| 产品型号 | Piezo LEGS® LT40 |
| 产品类型 | 线性压电电机 |
| 最大行程 | 67 mm（视驱动杆配置而定） |
| 运动分辨率 | 亚纳米级 |
| 全步长 | 5 μm |
| 速度范围 | 1 nm/s – 12 mm/s |
| 最大失速力 | 40 N |
| 保持力 | ＞40 N |
| 最大工作频率 | 1.5 kHz |
| 最大工作电压 | 48 V |
| 功耗 | 20 mW/Hz |
| 外形尺寸 | 32.1 × 24.2 × 23.1 mm |
| 重量 | 约 61 g（配50 mm驱动杆） |
| 工作温度 | -20°C 至 +70°C |
| 编码器 | 不带内置编码器 |
三、产品版本选择
- LT40 A 标准版： 适用于常规工业精密定位应用。
- LT40 C 非磁性版： 适用于对磁场干扰敏感的应用环境。
- LT40 D 非磁性真空版： 兼顾非磁性设计与高真空环境应用需求。
四、典型应用领域
- 半导体制造设备（Semiconductor Manufacturing Equipment）
- 晶圆检测与计量设备（Wafer Inspection & Metrology）
- 真空精密定位系统（Vacuum Positioning Systems）
- 精密光学与光子学设备（Precision Optics & Photonics）
- 激光定位系统（Laser Positioning Systems）
- 显微镜及科研仪器（Microscopy & Scientific Instruments）
- 医疗设备及手术机器人（Medical Devices & Surgical Robotics）
- 高端自动化及 OEM 精密运动控制系统（OEM Precision Motion Control）
高推力与超高精度兼得，让精密运动控制更进一步！
