PiezoMotor Piezo LEGS® 真空兼容与无磁线性压电电机及线性执行器:纳米级精度,无磁真空环境下的理想之选

在精密运动控制领域,特殊环境往往意味着妥协。需要真空兼容?需要完全无磁?需要纳米级分辨率?传统电机方案常常难以同时满足。

PiezoMotor 的 Piezo LEGS® 线性电机与执行器系列,正是为这些严苛需求而生。

Linear actuators with direct drive. Integrated encoders and precision guided models are available as well as non-magnetic and vacuum capable models.


产品系列概览:6.5 – 450 N 推力范围

我们提供标准化现货的压电电机与线性执行器,推力范围覆盖 6.5 N 至 450 N,并可选配集成编码器、精密导轨、无磁版本及真空兼容版本。

型号推力特点适用环境
LL066.5 N集成编码器、内置导轨标准环境
LL106.6 N无磁、真空兼容无磁 / 真空
LT2020 N无磁、真空兼容无磁 / 真空
LT4040 N无磁、真空兼容无磁 / 真空
LTC4040 N封闭式防护,防尘防污标准环境
LTC300300 N真空兼容,自锁无背隙真空环境
LT450450 N真空兼容,自锁无背隙真空环境

核心优势

🔹 卓越的体积-推力比与真正的直线运动

组件极少,造就紧凑的电机与执行器。无需齿轮、丝杠或机械传动即可实现直线运动。

🔹 真空兼容与无磁

电机外壳可选非磁性合金,驱动单元采用陶瓷材料,使执行器在距外壳 10 mm 处的磁通密度低于 1 nT。它们既不产生磁场,也不受磁场影响。在 MRI 设备或细胞应用中均无问题。

🔹 极高精度——无背隙与自锁

Piezo LEGS® 压电电机可轻松实现亚纳米级定位。摩擦驱动将驱动杆锁定到位,无需任何功耗,且基本没有背隙。电机在启动和停止时都能瞬间响应。

🔹 响应时间与高速动态性能

压电执行器以卓越的响应时间和高速动态性能著称,非常适合需要快速、精确 positioning 的应用。它们可实现纳米级运动控制精度,即使高速运动也能保持稳定,在显微镜、半导体制造和光学等领域不可或缺。

🔹 速度与步长

执行器的速度取决于步长和驱动频率。产品页标注的最大速度为标准环境下连续运行的数值。在间歇条件下配合特定控制器,速度可大幅提升。环境和负载会显著影响步长。

🔹 精密导轨与集成编码器

大多数型号可选配集成编码器和精密导轨。


典型应用领域

  • 半导体制造:晶圆切割、抛光、光刻、离子注入、检测与计量

  • 医疗科技:药物输送系统、手术工具与机器人、诊断与成像设备、医疗物料搬运

  • 光学与科研:显微镜、光学对准、激光腔调节

  • 特殊环境:MRI 设备、真空腔体、无磁实验室

  • OEM 运动解决方案:需要高精度、紧凑结构、特殊环境兼容的集成应用


为什么选择 Piezo LEGS®?

特性优势
直驱技术无齿轮、无丝杠、无传动部件
无背隙正反转无空程,定位更精准
自锁保持断电时保持位置,零功耗
亚纳米分辨率满足最严苛的定位需求
无磁设计磁通密度 < 1 nT @ 10 mm
真空兼容可烘烤至 125°C,放气极低
紧凑结构体积小,推力大

高精度线性压电执行器与压电电机,具备卓越的体积-推力比。

无论您需要在真空环境、无磁环境,还是标准环境中实现纳米级精密定位,Piezo LEGS® 系列都能为您提供合适的解决方案。

欢迎联系我们,让我们的工程师协助您找到最适合的型号。


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