在精密定位领域，每一微米都至关重要。当您的应用既需要 XY 双轴精密运动，又需要保持光路畅通时，传统堆叠式单轴位移台往往力不从心。

PiezoMotor 全新推出 Piezo LEGS® XY 精密位移台（带通光孔）——将两轴闭环运动与中心光学通孔集成于一体，专为稳定、可重复的精密定位而打造。

一个位移台，双轴定位 + 光学通路

XY 精密位移台将两个闭环轴与中心通光孔集成在一起，提供光学访问能力。两款型号均提供 X ±8 mm、Y ±8 mm 的运动范围，客户可按轴选择 6 N 或 20 N 的堵转力。

XY 精密位移台全部型号均具备：

• X ±8 mm、Y ±8 mm

• 每轴 6 N 或 20 N 堵转力

• 每轴 40 nm 编码器分辨率

• 中心光学通孔

• 2 kg 负载能力

• 双轴 PMSD402 控制

核心优势

✅ X ±8 mm、Y ±8 mm
✅ 每轴 6 N 或 20 N 堵转力
✅ 每轴 40 nm 编码器分辨率
✅ 中心光学通孔
✅ 2 kg 负载能力
✅ 双轴 PMSD402 控制

微小运动，巨大影响

当精度定义性能，每一次运动都至关重要。Piezo LEGS® 技术提供直接、可控的运动，无需传统传动机构的复杂性。

🔹 精度

40 nm 分辨率，满足高要求定位。

🔹 稳定性

无需持续供电即可保持 X-Y 位置。

🔹 简洁性

集成式双轴平台，带中心通光孔。

XY 精密位移台，为推动创新而生

从先进光学到分析仪器，精密运动让系统性能更出色。

对准 — 在 X 和 Y 方向定位光学元件、晶圆和传感器。

定位 — 移动样品，同时保持光学通路畅通。

扫描 — 在双轴上扫描表面和探测器响应。

保持 — 以低静态发热维持所选 X-Y 位置。

一个位移台。每一次运动都精准。

XY 精密位移台典型应用

• 显微镜与样品定位

• 需穿透位移台光路的光学成像

• 晶圆、传感器与探测器对准

• 精密映射与计量

• 激光与光子学对准

它能实现什么

• 在保持光路畅通的同时定位样品：通过位移台中心通光孔，维持无遮挡的光学路径。

• 双轴可重复闭环运动：在 X 和 Y 两个方向上映射表面或传感器响应。

• 无需堆叠单轴位移台：直接在 XY 方向对准光学或光子元件，省去多台单轴位移台的堆叠。

如何选择

• 每轴 6 N：适用于典型样品、传感器和光学元件的定位。

• 每轴 20 N：适用于存在线缆力、工艺负载或动态需求，需要额外驱动力储备的场景。

请确认通光孔、负载重心及所受力矩与最终机械结构兼容。

技术规格

共用平台规格

一个位移台。每一次运动都精准。

无论是显微镜样品定位、晶圆与探测器对准，还是激光与光子学对准，Piezo LEGS® XY 精密位移台都能在保持光学通路畅通的同时，为您的系统带来稳定、可重复的双轴精密定位。

欢迎联系我们，了解适合您应用的型号与配置。