OPTO DIODE SXUVPS4,SXUV100TF135,SXUV20HS1极紫外探测器

OPTO DIODE CORPORATION SXUV100TF135,SXUV20HS1极紫外探测器

SXUV 高能光子、电子和 X 射线探测

Opto Diode 的 SXUV 系列光电二极管专为精确探测极紫外(EUV)辐射、X 射线和电子而设计。这些探测器具有 20 mm² 的大面积圆形有效区域,在 1 nm 至 200 nm 波长范围内提供优异的响应度,非常适合高强度 EUV 应用。详细的 SXUV 规格页面涵盖 SXUV100、带滤光片的 SXUV100TF135、高速型 SXUV20HS1 以及 SXUVPS4 四象限探测器。

SXUV 探测器:具备高抗辐射能力与稳定的 EUV 响应度

特点

  • 高抗辐射能力

  • 低噪声性能

  • 宽光谱响应度

应用

  • EUV 光刻

  • X 射线光谱学

  • 同步辐射监测

OPTO DIODE SXUVPS4极紫外探测器特点:


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