铯离子枪 碱性离子枪Ion Guns Model 1403Cs – Cesium/Alkali Ions 束斑可调

Nonsequitur离子枪 碱性离子枪设计特点

  • 用户可更换Frit离子源以产生各种离子
  • 光斑可调 75um to >1mm for spatially defined sputtering
  • 连续可变束流能量,最高 5keV
  • 使用光束弯曲光学元件进行中性种抑制
  • BTOF SIMS的光束消隐能力
  • 集成束流监控能力
  • 可选光束束电极
  • 采用适合超高真空和耐蚀刻的材料
  • 用于减小光斑尺寸的透镜偏转
  • 差速泵,以尽量减少主腔室气体负载

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