双等离子发射器离子枪离子源 气相离子源Ion Guns Model 1407 气相源He, Ne, Ar, Kr, Xe 束斑可调节

Nonsequitur 离子枪离子源 Ion Guns Model 1407 设计特点

  • 紧凑型离子源,双等离子发射器
  • 可调节的束斑, ≥ 15µm ,用于空间定义的溅射
  • 可调节发射,提供稳定的束流,前面板可调动态范围 x300
  • 连续可变电子束能量,最高达 5keV
  • 用于电子束扫描和校正的双电极
  • 用于减小束斑大小的预目标透镜偏转
  • 集成束流大小监测
  • 灯丝不直接到样品,避免不必要的样品污染
  • 可更换电子束修剪孔径板,典型使用寿命> 500 hours
  • 提供双灯丝备份
  • 内部源压力传感器,允许监控离子源压力
  • 采用适合超高真空和耐蚀刻的材料
  • 差速泵,以尽量减少主腔室气体负载
  • 在惰性气体下运行

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