Diamond H5 真空晶圆搬运机器人

Diamond H5 系列真空机器人代表了晶圆搬运设备在设计和可靠性方面的重大工程进步。

该机器人采用技术先进的组件，利用超低惯性、高响应无刷伺服电机，配合零背隙 Harmonic Drive® 齿轮，实现了卓越的灵活性和精度。

创新的全集成式设计将运动控制器、伺服放大器和电源全部集成在机器人行业标准尺寸的占用空间内。

高强度结构件支持法兰顶部或底部安装，且不会影响系统刚性。

可联网的 RS-485 和以太网接口补充了标准 RS-232 和示教器连接。

强大的原生晶圆处理和脚本语言有助于快速开发软件，将机器人嵌入 OEM 应用环境中。

对传统机器人“宏”命令的全面仿真提供了与各种现有半导体设备的即插即用兼容性。

特性

伺服轴	运动范围	最大速度	最大加速度	轴重复定位精度
T – 臂旋转	> 500°（可选无限旋转）	180°/秒	360°/秒²	±0.01°
R – 臂伸缩	±19.883 英寸（505mm），双连杆臂机械限位至机械限位	25 英寸/秒	90 英寸/秒²	±0.001 英寸（0.025mm）
Z – 垂直行程	1.456 英寸（37mm），机械限位至机械限位	4 英寸/秒	12 英寸/秒²	±0.001 英寸（0.025mm）

参数	规格
晶圆尺寸	2 英寸（50mm）至 12 英寸（300mm）
负载（含末端执行器）	1.2 kg（2.65 lbs）
重量	29.5 kg（65 lbs），不含末端执行器
电机类型	无刷，低惯性高响应
编码器类型	绝对式，电机轴上 32768 计数/转
设施要求	电压范围：100-120 VAC，200-240 VAC
控制接口	通过 RS-232 和以太网（Telnet）进行串行通信；示教器终端串行接口；从设备 RS232 接口；通用数字 I/O
洁净度	Class 1
真空性能	极限真空度 1×10⁻⁹ Torr 漏率 < 1×10⁻⁹ std.cc/sec He
真空暴露材料	铝、不锈钢、波纹管（AM-350 不锈钢退火）、铁磁密封液、Viton、润滑剂（Fomblin/Krytox 混合）
工作温度	真空环境（法兰、臂、末端执行器）最高 50°C（122°F）大气环境（机器人本体）10°C – 40°C（50°F – 104°F）
安装配置	可定制法兰，顶部或底部安装螺栓（图示为 11 英寸顶部安装法兰）
臂尺寸	双连杆，2 × 10.0394 英寸（2 × 255mm）
内置控制器和电源的机体尺寸（无需外部控制器）	长度 17.894 英寸（454.5mm），不含安装法兰直径 9.41 英寸（239mm）
安装孔径（顶部安装）	推荐 9.50 英寸（242mm）最大取决于法兰
最小工作包络	直径 24 英寸（配 15.65 英寸长末端执行器，夹持 300mm 晶圆，12mm 安全间隙）