Diamond H3 晶圆搬运机器人
Diamond H3 系列大气机器人代表了晶圆搬运设备在设计和可靠性方面的重大工程进步。
该机器人采用技术先进的组件，利用超低惯性、高响应无刷伺服电机，配合零背隙 Harmonic Drive® 齿轮，实现了卓越的灵活性和精度。
创新的全集成式 Class 1 洁净室兼容设计，将运动控制器、伺服放大器和电源全部集成在机器人行业标准尺寸的占用空间内。
高强度结构件支持顶部、底部或侧面安装配置，且不会影响系统刚性。
32 位实时内核可实现平滑连续轨迹上的精确运动曲线，而分布式控制架构则支持与直线轨道、预对准机和其他子组件的无缝集成。
可联网的 RS-485 和以太网接口补充了标准 RS-232 和示教器连接。强大的原生晶圆处理和脚本语言有助于快速开发软件，将机器人嵌入 OEM 应用环境中。对传统机器人“宏”命令的全面仿真提供了与各种现有半导体设备的即插即用兼容性。
特性
出色的结构刚性
模块化且高度可定制设计
臂长从 10.50 英寸到 24.00 英寸可选
垂直行程可达 21 英寸
全集成运动控制器、伺服放大器和电源
高响应无刷电机和精密零背隙 Harmonic Drive® 齿轮
可选绝对编码器，无需初始归零流程
支持径向和直线设备布局的搬运
与预对准机、直线轨道及其他外围组件无缝集成
标准 RS-232 接口和以太网（Telnet）接口连接主机
先进的 32 位实时运动控制内核
强大的晶圆处理固件
全面的软件工具和实用程序
对传统机器人宏命令的软件仿真
可选示教器终端
通用数字输入/输出供自定义使用
Class 1 洁净室环境兼容
可靠性 – MTBF > 60,000 小时，（MCBF > 10,000,000 次循环）
轴规格
| 轴 | 运动范围 | 最大速度 | 最大加速度 | 轴重复定位精度 |
|---|---|---|---|---|
| T | > 360°（典型 ±230°） | 360 °/s | 1500 °/s² | ±0.01° |
| R | 从 ±10.5° 至 ±17.0°（取决于臂长） | 最高 50 英寸/秒（取决于臂长） | 300 英寸/s² | ±0.001 英寸（0.025mm） |
| Z | 从 13° 至 21°（取决于机器人本体型号） | 18 英寸/秒 | 44 英寸/s² | ±0.001 英寸（0.025mm） |
晶圆尺寸
2 英寸（50mm）至 12 英寸（300mm）
负载
2.2 磅（1.0 kg）
编码器
增量式，10000 脉冲/转
电机类型
无刷，低惯性高响应
重量
62 磅（28 kg），适用于 13 英寸垂直行程和 7.2 英寸 ×7.2 英寸臂
工作温度
50°F–104°F（10°C 至 40°C）
设施要求
电压范围
100–120VAC，200–240VAC
真空供应
11.8″Hg（-5.8psi）/ 0.1CFM 气流
美国 Logosol Diamond H4 晶圆搬运机器人,可实现两个晶圆的快速交换或同步传输
美国 Logosol Diamond H1 晶圆搬运机器人，具有卓越的灵活性和精度
