美国Logosol LPA68EH-3 晶圆寻边台|Logosol LPA 系列晶圆预对准处理器|Logosol 晶圆边缘处理|Logosol晶圆寻边台
Logosol LPA68EH-3 晶圆寻边台
LPA68EH-3-REHV1-S38-S(B)-R900V-NE-LH58
创新型独立式装置，采用被动边缘接触技术，夹持力为零 —— 这是 Logosol 针对边缘夹持式预对准技术提出的替代方案，可确保晶圆无应力、并实现搬运过程中的最高洁净度，适用于 75 mm – 300 mm 尺寸的对象。提供标准型与高精度型号。
Logosol LPA68EH-3 晶圆寻边台特点
面向两种晶圆尺寸的减接触式边缘处理预对准器，边缘接触区域小于 1 mm
对准能力：标准 150 mm 与 200 mm 晶圆透明及半透明基板 |
机身 ： LPA58
接口进线方向:侧面（可选底部）
Logosol LPA68EH-3 晶圆寻边台规格参数
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 晶圆直径 | 150 mm、200 mm |
| 晶圆透光性 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基板 | 不支持 |
| 晶圆处理方式 | 边缘处理（Edge Handling） |
| 定心精度（3σ） | ±35 μm（在预对准器吸盘上） |
| 角度精度（3σ） | 10000 CPR 编码器：±0.07°（在预对准器吸盘上）24000 CPR 编码器：±0.04°（在预对准器吸盘上） |
| 电机轴数 | 三轴 |
| 上位机通信 | RS232、以太网 |
| 最大初始晶圆偏移 | 6 mm |
| 外形尺寸（宽 × 长 × 高） | 173 mm × 267 mm × 190 mm |
| 安装尺寸兼容性 | LPA26-3、LPA58-3、LPA38-3LPA4EH-3、LPA6EH-3、LPA8EH-3 |
| 重量 | 5.30 kg |
| 所需动力条件 | 100–240 VAC，50/60 Hz，48 VA；或 24 VDC / 2 A |
| 平边/凹口兼容性 | 符合 SEMI 标准 |
| 洁净度等级 | Class 1（1 级） |
| 平均无故障时间（MTBF） | 超过 70,000 小时 |
Logosol LPA68EH-3 晶圆寻边台尺寸
Logosol LPA68EH-3晶圆寻边台选型指南
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