美国Logosol LPA12FS-3 快速交换预对准器|Logosol LPA 系列晶圆预对准处理器|Logosol 晶圆预对准处器|Logosol高通量预对准器
Logosol LPA12FS-3 快速交换预对准器
Logosol LPA12FS-3 快速交换预对准器特点
- 创新的一体化高性能设计，省去外部控制器与互连电缆，同时保持原位替换（drop-in）兼容性。
- 基于专有设计的快换功能，支持晶圆吸盘在顶针平面以下完成装载。
- 先进的扫描检测电路，可识别透明、半透明及不透明物体，在不同晶圆尺寸之间切换时无需机械重新定位。
- 运动控制软件内置一整套常用指令，可与多种半导体平台实现兼容对接。
- 典型对准循环时间小于 5 秒，有助于实现系统产能最大化。
Logosol LPA12FS-3 快速交换预对准器规格参数
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 晶圆直径 | 300 mm |
| 晶圆透光性 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基板 | 受限（有限支持） |
| 晶圆处理方式 | 真空吸盘 + 无源顶针 |
| 定心精度 | ±25 μm（在预对准器吸盘上） |
| 角度精度（3σ） | 10000 CPR 编码器：±0.04°（在预对准器吸盘上）24000 CPR 编码器：±0.02°（在预对准器吸盘上） |
| 伺服轴数 | 三轴 |
| 上位机通信 | RS232、以太网 |
| 最大初始晶圆偏移 | 12 mm |
| 外形尺寸（宽 × 长 × 高） | 173 mm × 317 mm × 229 mm |
| 安装尺寸兼容性 | LPA312-3、LPA1218-3、LPA8ET-3、LPA12ET-3 |
| 重量 | 5.90 kg |
| 所需动力条件 | 100–240 VAC，50/60 Hz，48 VA；或 24 VDC / 2 A |
| 真空度 | 12 英寸汞柱（12″ Hg） |
| 平边/凹口兼容性 | 符合 SEMI 标准 |
| 洁净度等级 | Class 1（1 级） |
| 平均无故障时间（MTBF） | 超过 70,000 小时 |
Logosol LPA12FS-3 快速交换预对准器尺寸
Logosol LPA12FS-3 快速交换预对准器选型指南
Logosol Logosol Inc Logosol LPA Logosol LPA12FS-3 Logosol LPA12FS-3快速 交换预对准器 Logosol LPA12FS-3快速交换预对准器 Logosol LPA 系列晶圆预对准处理器 Logosol LPA系列 晶圆预对准处理器 Logosol代理 Logosol 晶圆预对准处理器 Logosol进口代理 Logosol预对准器 Logosol预对准处理器 Logosol高通量预对准器 LPA系列 晶圆预对准处理器 快速交换预对准器 晶圆处理 晶圆预对准处理器 美国Logosol LPA12FS-3快速 交换预对准器 预对准器 高通量预对准器
