Logosol Inc，LPA12FS-3  快速交换预对准器， 晶圆预对准处理器,LPA系列 Logosol进口代理

Logosol  LPA12FS-3  快速交换预对准器特征：

• 创新、高性能、一体化设计，无需外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用的兼容性。
• 基于专有设计的快速交换功能，允许在针水平以下加载晶圆吸盘。
• 先进的扫描电子技术，能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位。
• 运动控制软件 具有一套全面的常用命令，可实现与各种半导体平台的兼容和接口。
• 典型对准周期时间少于 5 秒，有助于实现最大系统吞吐量。