LPA12FS-3 特征：
-创新型高性能一体化设计，在保持即插即用兼容性的同时，取消了外部控制器及设备间连接电缆。基于专有设计的快速更换功能，使晶圆卡盘可在低于定位针高度的情况下完成装载。
-先进的扫描电子系统能够在无需针对不同晶圆尺寸进行机械重新定位的情况下，检测透明、半透明及不透明物体。
-运动控制软件配备全面的常用指令集，可实现与多种半导体设备平台的兼容与接口对接。
-典型对准周期小于5秒，有助于实现系统最大化的生产吞吐效率。
LPA12FS-3 规格参数：
晶圆直径： 300mm
晶圆透明度： 透明的，半透明的，不透明的
方形基板 ：受限的
晶圆处理能力 ：真空吸盘与被动定位针
定心精度 ：预对准卡盘上的±25um
角度精度(3 Sigma)：
10000 CPR 编码器： 预对准卡盘上的±0.04°
24000 CPR 编码器 ：预对准卡盘上的±0.02°
伺服轴数： 三轴
主机通信接口： RS232, 以太网
最大初始晶圆偏移量： 12mm
本体尺寸 (W x L x H) ：173mm x 317mm x 229mm
安装占地兼容性：LPA312-3, LPA1218-3，LPA8ET-3, LPA12ET-3
重量： 5.90kg
配套设施要求：100–240伏交流电，50/60Hz，48VA，或24伏，直流/2A；真空度12英寸汞柱（Hg）
平边/缺口兼容性： 符合SEMI标准
洁净度要求： 1级
平均无故障时间（MTBF）： 超过70000小时
LPA12FS-3 外形尺寸：
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