LPA25-1E特征：
-创新型高性能一体化设计，在保持即插即用兼容性的同时，取消了外部控制器及互连电缆。
-采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳且快速的响应性能。
-先进的扫描电子系统能够在无需针对不同晶圆尺寸进行机械重新定位的情况下，检测透明、半透明及不透明物体。
-运动控制软件配备全面的常用指令集，可实现与多种半导体设备平台的兼容与接口对接。
-典型对准周期小于4秒，有助于实现系统最大化的生产吞吐效率。
LPA25-1E 技术规格：
晶圆直径：2″, 3″, 100mm, 125mm
晶圆透明度：透明的，半透明的，不透明的
方形基板：适用的
晶圆处理能力：真空卡盘
定心精度：预对准卡盘上的±50um
角度精度 (3 Sigma)：
10000 CPR 编码器：预对准卡盘上的±0.06°
24000 CPR 编码器：预对准卡盘上的±0.04°
伺服轴数：一轴
主机通信接口：RS232, 以太网
最大初始晶圆偏移量：9mm
本体尺寸（宽×长×高）：95mm x 266mm x 191mm
安装占地兼容性：LPA38-1E, LPA58-1E, LPA312-1E, LPA812-1E, LPA1218-1E
重量：3.40kg
配套设施要求：100–240VAC，50/60Hz，48VA，或24VDC/2A；真空度12英寸汞柱（Hg）
平边/缺口兼容性：符合 SEMI 标准
洁净度要求：1级
平均无故障时间（MTBF）：超过 70,000 小时
LPA25-1E 外观尺寸：
