LPA1218-3 特征：
-创新型高性能一体化设计，消除了外部控制器和互连电缆，同时保持即插即用兼容性
-由超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、瞬时响应。
-先进的扫描电子系统能够在不同晶圆尺寸之间无需机械重新定位即可检测透明、半透明及不透明物体。
-运动控制软件具备全面的常用命令集，可与多种半导体平台兼容并实现接口对接。
-典型的对准周期时间少于四秒，有助于实现系统的最大吞吐量
LPA1218-3 规格：
晶圆直径：300mm to 320mm, 450 to 470mm
晶圆不透明度：透明，半透明，不透明
方形基片：适用
晶圆搬运：真空卡盘和销钉
居中精度：±25um 在预对准器吸盘上
角度精度 (3 Sigma)：
10000 CPR 编码器：不适用
24000 CPR 编码器：±0.02° 在预对准器吸盘上
伺服轴：3
主机通讯：RS232, 以太网
最大初始晶圆偏移：12mm
外形尺寸 (W x L x H)：173mm x 404mm x 190mm
占地兼容性：LPA312-3, LPA812-3，LPA8ET-3, LPA12ET-3
重量：5.70kg
所需设施：100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, or 24VDC/2A 真空 12″ Hg
切边/缺口兼容性：符合SEMI标准
洁净度：Class 1
平均无故障时间MTBF：超过70000小时
LPA1218-3常规尺寸：
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