Logosol/Isel,LPA812-1E系列,嵌入式晶圆预对准器,晶圆寻边台,晶圆校准,晶圆对位
LPA812-1E特征
-创新的一体化高性能设计，无需外部控制器和互连电缆，同时保持原位替换兼容性。
-采用超低惯性无刷电机驱动，实现平滑、快速的响应。
-先进的扫描电子器件，能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位。
-运动控制软件包含一套全面的常用指令，便于与各种半导体平台兼容和对接。
-典型对准循环时间小于 4 秒，有助于实现最大的系统吞吐量。
LPA812-1E 技术规格
晶圆直径：200mm, 300mm
晶圆透明度：透明、半透明、不透明
方形基板：适用
晶圆处理方式：真空吸盘
对中精度：在预对准器吸盘上 ±50um
角度精度 (3 Sigma)
10000 CPR 编码器：在预对准器吸盘上 ±0.06°
24000 CPR 编码器：在预对准器吸盘上 ±0.04°
伺服轴数：1 轴
主机通信：RS232、以太网
最大初始晶圆偏移量：10mm
外形尺寸（宽 × 长 × 高）：95mm x 266mm x 191mm
安装尺寸兼容性：LPA25-1E, LPA38-1E, LPA58-1E, LPA312-1E, LPA1218-1E
重量：3.50kg
所需设施：100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, 或者 24VDC/2A 真空 12 英寸汞柱
平边/缺口兼容性：SEMI Standards Compliant
洁净度：Class 1
MTBF（平均故障间隔时间）：超过 70,000 小时
LPA812-1E 一般尺寸
产品资料：https://logosolinc.com/wp-content/uploads/2020/08/LPA812-1E_Brochure.pdf
https://www.bihec.com/logosol/Logosol/Isel,LPA812-1E系列,嵌入式晶圆预对准器,晶圆寻边台,晶圆校准,晶圆对位/
