美国Logosol,独立晶圆预对准器,LPA812-3 ,由超低惯量无刷电机驱动,实现平滑即刻响应,先进的扫描电子设备能够在不同晶圆尺寸之间无需机械重新定位即可检测

美国Logosol,独立晶圆预对准器,LPA812-3 ,由超低惯量无刷电机驱动,实现平滑即刻响应,先进的扫描电子设备能够在不同晶圆尺寸之间无需机械重新定位即可检测

LPA812-3

独立晶圆预对准器

创新的高性能一体化设计消除了外部控制器和互连电缆，同时保持了插入兼容性

由超低惯性无刷电机驱动，实现平滑、即时响应；

先进的扫描电子设备能够在不同晶圆尺寸之间无机械重定位的情况下检测透明、半透明和不透明物体；

运动控制软件具有全面的常用命令集，使其能够与多种半导体平台兼容和接口；

典型的对准周期时间少于四秒，有助于实现系统的最大通量。