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独立晶圆预对准器
美国Logosol,独立晶圆预对准器,LPA38-3 ,由超低惯量无刷电机驱动,实现平滑即刻响应,典型的对齐周期时间少于四秒,有助于实现最大系统吞吐量
美国Logosol,独立晶圆预对准器,LPA26-3 ,由超低惯量无刷电机驱动,实现平滑即刻响应,典型的对齐周期时间少于四秒,有助于实现最大系统吞吐量
美国Logosol,独立晶圆预对准器,LPA812-3 ,由超低惯量无刷电机驱动,实现平滑即刻响应,先进的扫描电子设备能够在不同晶圆尺寸之间无需机械重新定位即可检测
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