美国Logosol 归档 - Logosol 晶圆处理预对准器伺服控制器驱动器智能控制器

美国LOGOSOL LPA38-3-V40P1-S23晶圆预对准器

美国LOGOSOL LPA12FS-3 快速交换预对准器高通量预对准器

美国Logosol,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C) ,用于300毫米晶圆的独立边缘处理预对准器

美国Logosol,LPA6EH-3 边缘处理预对准器,150毫米晶圆的独立边处理预对准装置,用于150毫米晶圆的减少接触边缘处理预对准器

美国Logosol,LPA25-1E 嵌入式预对准器,硅片直径2″, 3″, 100mm, 125mm ,典型的对齐周期时间少于四秒，有助于实现最大系统吞吐量

美国Logosol,独立晶圆预对准器,LPA38-3 ,由超低惯量无刷电机驱动,实现平滑即刻响应,典型的对齐周期时间少于四秒,有助于实现最大系统吞吐量

美国Logosol,独立晶圆预对准器,LPA26-3 ,由超低惯量无刷电机驱动,实现平滑即刻响应,典型的对齐周期时间少于四秒,有助于实现最大系统吞吐量

美国Logosol,独立晶圆预对准器,LPA812-3 ,由超低惯量无刷电机驱动,实现平滑即刻响应,先进的扫描电子设备能够在不同晶圆尺寸之间无需机械重新定位即可检测