美国Logosol,独立晶圆预对准器,LPA38-3 ,由超低惯量无刷电机驱动,实现平滑即刻响应,典型的对齐周期时间少于四秒,有助于实现最大系统吞吐量

美国Logosol,独立晶圆预对准器,LPA38-3 ,由超低惯量无刷电机驱动,实现平滑即刻响应,典型的对齐周期时间少于四秒,有助于实现最大系统吞吐量

LPA38-3

创新的高性能一体化设计消除了外部控制器和互连电缆，同时保持了插入兼容性

由超低惯量无刷电机驱动，实现平滑、即刻响应

先进的扫描电子设备能够在不同晶圆尺寸之间无需机械重新定位即可检测透明、半透明和不透明物体

运动控制软件具有一整套常用命令，能够与多种半导体平台兼容并进行接口。

典型的对齐周期时间少于四秒，有助于实现最大系统吞吐量。