美国Kimball Physics Kimball 夹式安装六硼化镧单晶阴极 夹式安装六硼化镧单晶阴极组件 ES-462
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Kimball ES-462 型(夹钳式基座)
六硼化镧阴极是一款高性能电阻加热热离子电子源。该产品依托本公司成熟量产的
ES-423E 型阴极技术研发,采用同款经过长期验证的加热结构,可实现同等超长使用寿命。
与前代产品一致,ES-462 型阴极适用于多种受亮度限制的电子光学设备,包含扫描电子显微镜、透射电子显微镜、电子探针以及电子光刻设备。同时,ES-462 在工作稳定性方面实现大幅升级,是对束流恒定度有严苛要求场景的首选器件。
本公司拥有 ES-462 阴极专利(美国专利号:12027340B2),产品搭载优化散热结构与牢固导电连接件,使六硼化镧发射体具备无可比拟的电学稳定性与位置稳定性。
ES-462 六硼化镧阴极配套的 “夹钳式基座” 结构采用两根钼质销钉,直接牢固夹持碳质加热器。即便在 1800 开尔文及以上高温工况下,夹钳基座阴极的电阻波动始终维持在极低水平;历经上万次室温至 1800 开尔文的冷热循环、累计百天以上连续工作后,器件仍能保持极佳稳定性。电阻稳定意味着工作温度恒定,进而提升阴极电子发射的稳定程度。
这套保障电阻稳定的高强度夹持结构,同时赋予阴极优异的空间稳定性,加热过程中轴外热偏移量极小。阴极从室温升温至工作温度后,可始终与电子光学系统内其他组件保持最佳同轴对位状态。
- 扫描电子显微镜
- 透射电子显微镜
- 电子光刻系统
- 电子加速器
- X 射线光源
- 自由电子激光器
- 定制化专用设备
- 坚固导电连接结构,散热性能优化
- 受热机械形变量极低
- 耐高温过载性能优异
- <100> 晶向单晶六硼化镧发射体
- 高品质超高纯度原材料
- 推荐阴极负载电流密度约 15 安每平方厘米(负载过高会缩短使用寿命)
- 洁净真空环境下可稳定工作数千小时
- 基座结构装配故障质保保障
- 精密加工碳质支撑基座
- 适配高端光学系统
- 发射源尺寸可控
- 可提供多种发射体直径规格