设计特点：
- 两个质量流量控制器 （MFC） – 快速响应
- 中频典型流量范围 ： 1 或 2 L/min
- 高频流量范围：1、2、5、10、20 或 40 L/min
- 饱和器温度高达 90 C，适用于扩展温度型号
- 一个或两个数字相对湿度探头（相对湿度和温度数据）
- 外部温度探头（基于RTD）
- HumiSys MF 采用基于帕尔贴的冷却系统
- 可选硬件，用于通过外部水浴进行高频冷却
- 用于真空和加压操作的定制型号
- 自动供水系统
- 加热输送软管
- 精密压力调节器和压力表
- 开放式设计，便于与其他设备连接
- 针对不同配置传感器的多模式相对湿度控制
- 自动/手动操作
- 用于数据传输的 USB 或串行端口
- 用于实验设计和控制的基于 Windows 的软件（该软件与任何 32 位或 64 位 Windows® 系统兼容）
HumiSys HF RH 发生器采用分流（分流）技术，并利用两个质量流量控制器实现快速响应。
在主要操作模式下，一个相对湿度探头用于相对湿度控制，通常放置在用户腔室内。
第二个（可选）相对湿度探头可以放置在任何用户定义的位置，以验证相对湿度和温度均匀性。
在用户腔室内无法安装常规相对湿度探头的情况下，可以使用微型相对湿度探头，或者可以通过外部温度探头（基于RTD）监测用户腔的温度。
