HumiSys HF是相对湿度发生系统的高流量版本。快速响应，宽流量范围，从各种传感器收集数据的能力，全自动和手动操作使其非常适合需要精确和稳定水蒸气源的各种应用。它的模块化设计，使用简单命令语言进行控制的能力以及PC软件的多功能性，可轻松集成到更大的分析设置中或与其他设备连接。
HumiSys HF使用两个质量流量控制器来在温度高达95℃（扩展温度模型）和流速高达50L/min的情况下，从0到100％产生快速，稳定和可重复的RH值。通常，温度探针（RTD1）和数字RH探针（RH和温度数据，16位分辨率）用于控制RH。可以使用附加的温度探头（RTD2）和RH探头，以及其他传感器来监视处理室中其他位置的温度和RH。
精密压力调节器将可选流速与供应管线的波动隔离开来。自动供水和控制系统消除了其他发生器通常需要的频繁用户干预。产生的水蒸气流通过柔性加热传输线输送到所选位置。
可编程RH发生器，适用于：
