掩膜对准系统归档 - Idonus相蚀刻系统红外显微镜

idonus MAS+DIM 掩膜对准系统掩膜与基板精准对准 · 真空夹持 · 双图像显微镜实时监控，对准精度达 ±5μm

2026年8月12日覃工电话：15821107090