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标签：掩膜对准系统

idonus MAS+DIM 掩膜对准系统掩膜与基板精准对准 · 真空夹持 · 双图像显微镜实时监控，对准精度达 ±5μm

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瑞士idonus是一家专注于微型工程行业专业设备设计和制造的微技术公司。核心竞争力有：MEMS设备（MicroElectroMechanical Systems）、离子注入机器视觉和光学解决方案、光伏设备、工程服务和原型或小批量生产

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