静电夹具（E-chucks）静电卡盘 晶圆支架 HF 气相刻蚀机

静电夹具能够通过静电力将多个芯片或晶圆部分固定在晶圆支架上。

该设备对于研发机构极为实用，尤其是在无法处理完整晶圆的情况下。静电夹持芯片可以在HF蒸汽释放之前执行MEMS晶圆的严苛切割工艺。通过调整传统的制造流程，可以生产具有极软悬挂结构的MEMS器件。

静电夹具的使用非常简单。将芯片放置在晶圆支架上，然后通过控制器上的开关启动静电力。此外，静电力的强度可以调节。