代理idonus 紫外LED曝光系统UV-EXP150R,UV-LAB100R
idonus 紫外LED曝光系统
idonus已经推出了一系列完整的UV-LED曝光产品。 idonus的系统将市场上最有效的UV-LED与高品质微透镜阵列相结合。 它们完全在内部组装和控制。idonus的设计具有全望远镜光学系统，提供 在整个曝光区域上可重复且均匀的照明条件 – 即，高度均匀和稳定 的强度，具有非常小的发散角。这种先进的光学系统确保整个 基底的完美均匀曝光，生产具有直边壁的固化光刻胶，并能够对具有微米关键尺寸的图案进行精确的微结构化。
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图A：光学系统（简化）● 通过使用微透镜阵列匀光器，实现了高均匀性的照明。
idonus的性能UV-EXP
idonus的UV-LED曝光系统有几种标准配置可供选择，并且可以定制多种变体和选项（例如，单波长或混合波长）。作为一个特殊机器的制造商，idonus 也可以根据客户规格开发完全定制的设备（例如，不同的曝光区域， 定制设备外壳）。我们产品的主要特征在表格 “标准UV-LED曝光系统”中给出。
校准过程中进行的典型测量如图B所示。在可用曝光区域内， 辐照度不均匀性，(max-min)/(max+min)，低于3%。在图A中所示的最大准直角α是另一个idonus系统表征的重要参数。 图C中所示的数据是从我们模型上进行测量得到的典型结果。 为了评估α，测量作为聚焦角函数的辐照度：α 对应于FWHM（半高宽）。这个阈值通常用于考虑光能有效地贡献于光致抗蚀剂的辐照。考虑到我们的曝光系统性能，大约95%的能量被包含在聚焦角α内。
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| 图B1：辐照度均匀性 ● 模型UV-EXP100S的曝光输出（100×100 mm²的方形照明区域）。 |
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| 图B2：辐照度均匀性 ● 测量显示非均匀性低于3%。从我们其中一个模型（UV-EXP100S，100×100 mm²的方形照明区域）提取的典型值。 |
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| 图C：准直角● 紫外线光被限制在最大准直角α内（FWHM的强度阈值，对应于95%的光能量）。 从idonus的UV-EXP150S提取的典型值（最大准直角α为±1.8°，或2α = 3.6°）。 |
idonus标准型紫外LED曝光系统
| Model | Wavelength | Useful exposure area | Irradiance, Ee | Non-uniformity, C * | αFWHM | WD ** | External dimensions, mm³ | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| @385/395/405 nm | @365 nm | (lamphouse only) | (complete system) | ||||||
| UV-LAB100R | 365 nm | Ø 100 mm | — | 12 mW/cm² | 5% | ±2° | 250 mm | 200×250×400 | 250×300×670 |
| UV-EXP150R | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | Ø 150 mm | 50 mW/cm² | 40 mW/cm² | 3% | ±1.8° | 350 mm | 610×305×250 | 1000×480×330 |
| UV-EXP150S | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | 150×150 mm² | 50 mW/cm² | 40 mW/cm² | 3% | ±1.8° | 300 mm | 600×360×300 | 960×500×420 |
| UV-EXP200R | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | Ø 200 mm | 30 mW/cm² | 25 mW/cm² | 3% | ±1.4° | 400 mm | 730×415×360 | 1170×570×530 |
| UV-EXP200S | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | 200×200 mm² | 30 mW/cm² | 25 mW/cm² | 3% | ±1.4° | 400 mm | 730×415×360 | 1170×570×530 |
| UV-EXP300S-1LE | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | 300×300 mm² | 17 mW/cm² | 13 mW/cm² | 3% | ±1.0° | 300 mm | 920×560×510 | 1270×715×700 |
| UV-EXP300S-3LE | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | 300×300 mm² | 50 mW/cm² (3 LEDs) | 40 mW/cm² (3 LEDs) | 3% | ±2.5° | 300 mm | 920×560×510 | 1270×715×700 |
| UV-EXP600S | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | 600×600 mm² | 30 mW/cm² (multiple LEDs) | 20 mW/cm² (multiple LEDs) | 3% | ±2.0° | 300 mm | 1500×1100×900 | *** |
| * Non-uniformity, C defined as: C = (Max-Min)/(Max+Min) where Max and Min are the maximum and minimum irradiance in the useful exposure area. ** Note that for all UV-EXP models, other WD can be designed to address your specific needs. *** To be defined with client, as it depends on user application. | |||||||||
