代理瑞士idonus UV-EXP150R-SYS UV-EXP系列光刻曝光系统

代理瑞士idonus UV-EXP150R-SYS UV-EXP系列光刻曝光系统

Idonus是一家专门从事微工程行业特种设备设计和制造的微技术公司。

Idonus的核心竞争力是：

• 设备用于MEMS 微制造和检查
• 用于光刻的UV LED设备（包括掩膜对准器的改装），固化和其他曝光
• 工程服务 & 原型制作或小批量生产
• 离子注入表面处理：特殊机器和服务
• 机器视觉和光学解决方案

The idonus 的核心产品是用于 MEMS 微制造的洁净室设备。

IDONUS把这些产品分为两类设备：

• 掩膜对准 (MAS, DIM ) 和 光刻 暴露 (UV-EXP ), 以及两者的结合 (PLX )
• MEMS系统微加工 (VPE, E-chuck, WPWC, CCB ) 和 检测 (IR-M, WBI )

通过UV-EXP系列，idonus提供了一种基于高功率LED和高品质均匀光学的创新UV照明系统。该产品线应用于光刻胶曝光（UV-LED光刻和固化），适用于MEMS、微流控、光子学、半导体和光伏应用中使用的各种基板和光刻胶。idonus的标准UV照明产品系列满足了掩膜和晶圆宽度达300毫米（11.8英寸）的光刻需求。