三轴加速度计测试工具（振动测试装置）
AMHS和输送设备制造商使用三轴加速度计测试仪来评估其在系统开发、安装和维护过程中产生的振动情况。这种符合行业标准的测试工具被200毫米及300毫米圆晶厂广泛采用，用于检测物料处理系统对晶圆造成的振动影响。通过及时发现轨道偏差的迹象，可以采取措施减少晶圆所受到的振动干扰。三轴加速度计测试仪既可以单独使用，也可以与GCI信息中心结合使用，从而实现自动记录功能，并能获取由AMHS设备提供的位置数据。
GCI的三轴加速度计测试工具为AMHS的供应商和最终用户提供了精确的振动测量解决方案。该工具能够在自动或手动运输过程中，同时采集并记录X、Y、Z三个轴线上的振动数据。
三轴加速度计测试仪采用电池供电，结构设计十分紧凑、便于使用。随设备附带的适配板可用来将测试仪牢固地安装在300毫米大小的晶圆承载装置中。对于200毫米尺寸的晶圆处理需求，用户还可以另行购买相应的安装板，将测试仪固定在200毫米晶圆承载装置上。该设备配有LCD显示屏和键盘，方便用户进行各种设置操作。
onboard数据缩减
三轴加速度计测试仪能够实现每轴每秒512个数据的实时处理。提供了多种数据处理方式，包括有效值、峰值、峰值对应的频率以及真有效值等。数据处理是以半秒为间隔进行的（利用FFT算法），因此每种处理方式下，每轴每秒可得到两个处理后的数据点。存储容量取决于所选择的处理方式，最大存储时间在两小时到六小时之间。
存储在内部SD卡中的数据量有所减少。可以先存储多段录制内容，然后再将它们上传到电脑上进行分析。系统配备了RS-232接口，方便使用InfoCenter桌面应用程序进行数据上传（请联系GCI获取更多信息）。
时域记录选项
三轴加速度计测试仪可以可选地配备时域记录功能。该功能可将时域数据存储到安全数字存储卡中。使用此功能时，三轴加速度计测试仪能够以每秒每个轴512个数据点的速率将数据直接存储到SD卡中。存储容量受SD卡可用空间的限制（最长可存储6小时的数据）。数据处理工作可以在PC上通过GCI公司的VibPlot或InfoCenter Desktop软件来完成。
VibPlot分析应用
VibPlot提供了对所记录的时域数据进行频率分析的工具。VibPlot继承了三轴加速度计测试工具中的数据处理功能，同时还具备多种额外的分析功能，比如三维瀑布图和彩色频谱图。用户可以查看时域数据，同时也能看到经过处理的数值指标（如有效值、峰值、真有效值），以及每0.5秒间隔内的FFT分析结果。
信息中心桌面应用程序
InfoCenter桌面应用程序提供了与VibPlot相同的功能。它是一个经过升级的应用程序，能够上传并显示经过处理的简化数据集。
特点/优势
斧头/武器
- X、Y和Z
测量结果/数值
- 频率范围：直流电至150赫兹
- 振动幅度：0.03克至2.00克（误差范围：±0.01克）
电池/充电器
- 可充电镍氢电池组
- 先进的电池充电电路
- 电池电量低时会有警报提示。
数据分析类型
- RMS
- 高峰期/最高点
- RMS值与峰值
- RMS值、峰值以及频率
- 有效值、峰值、频率、真有效值以及N值
用户界面
- 2×16字符LCD显示屏
- 4个功能键键盘
闪存PROM
- 存储系统固件
- 可以使用GCI提供的固件文件轻松进行升级。
内置微型SD卡
- 存储录音文件
- 存储容量足够支持数百次独立记录的保存（具体数量取决于录音时长）。每次记录都会被标记上时间戳。
RS-232接口
- 提供一个RS-232端口，用于将录制的数据下载到主机电脑上。
