Get Control E84 Emulator晶圆测试仿真器SEMI® E84产品开发和测试
Get Control 的 E84 仿真器是全球范围内最先进的测试工具，专门用于那些需要符合 SEMI® E84 标准的产品在开发、测试和验证过程中的应用。该工具提供了行业标准的自动化测试方案，全球几乎所有的 300 毫米圆晶厂和设备制造商都在使用这些方案。Get Control 的测试工具是唯一能够确保 300 毫米圆晶厂自动化系统之间良好兼容性的解决方案。
E84 仿真器提供了用于测试各种有源及无源元件中的并行输入/输出控制信号的自动化测试流程。SEMI® E84 标准规定了在晶圆制造过程中，用于在自动物料处理系统与生产设备之间传输晶圆的各类控制信号。
E84 模拟器通过标准的 USB 端口与基于 Microsoft® Windows 操作系统的笔记本电脑相连。该模拟器应用程序兼容 WinXP、Win7 和 Win10 操作系统。
该系统提供了图形用户界面，支持主动式和被动式的自动及手动测试模式。在自动测试模式下，用户需要输入测试人员的姓名、测试日期以及设备相关信息。自动测试模式包含 20 种主动式测试和 18 种被动式测试，用户可以自行选择是否启用这些测试功能。该系统还支持静态测试，用户可通过该功能确认每个连接端口上是否有相应的标签，以及这些标签是否被正确地安装在相应位置上。用户还可以在图形用户界面上查看这些标签的位置信息。
这些功能测试用于验证单次切换时的负载情况、单次切换后的状态、切换功能的可用性、紧急停止功能、超时情况、被动设备端口的传感器状态，以及+24V 电源电压是否正常。各项测试所涉及的控制信号的时序图可以可选地在用户界面上显示出来。
在自动测试模式下，可以随时保存测试计划和测试结果。所保存的文件包括 ASCII 文本文件以及适合打印的 PDF 文件。这些文件包含了用户输入的所有设备信息，以及 E84 仿真器应用程序提供的各项测试相关数据。测试详情包括测试标题、测试结果、故障信息，以及用户在测试过程中输入的任何备注。保存下来的测试计划还可以被重新调用，以便继续进行测试。手动测试模式提供了一个菜单，用户可以通过该菜单来切换并行输出信号的状态，同时还能持续查看并行输入信号的状态。
