GCI E84仿真器 美国GET CONTROL E84模拟器有源及无源设备测试

GCI E84仿真器 美国GET CONTROL E84模拟器有源及无源设备测试

E84 模拟器——兼容 Windows 10/11 系统

GCI E84 仿真器是全球范围内最先进的测试工具,专门用于那些需要符合 SEMI® E84™标准的产品在开发、测试和验证过程中的应用。该工具采用了行业标准的自动化测试方案,被全球所有 300 毫米圆晶厂及设备制造商所采用。GCI E84 仿真器是唯一能够确保 300 毫米圆晶厂自动化系统之间良好兼容性的解决方案。

E84 仿真器提供了用于测试各种有源及无源设备中的并行输入/输出控制信号的自动化测试流程。SEMI® E84™标准规定了在晶圆制造过程中,自动物料处理系统与生产设备之间进行数据传输时所使用的控制信号

E84 模拟器通过 USB 接口与基于 Microsoft® Windows 操作系统的笔记本电脑或台式机相连。该模拟器应用程序兼容 Windows XP、10 和 11 操作系统。

该系统提供了图形用户界面,支持主动和被动的仿真测试模式,无论是自动测试还是手动测试都能轻松实现。在自动测试模式下,操作员需要输入姓名、测试日期以及设备相关信息。

在主动模式下进行的测试可以验证工艺设备中 E84 接口的功能表现。总共有 20 项主动模式测试,操作员可以单独选择是否进行这些测试。此外,还有一套类似的被动模式测试机制,用于测试输送系统的相关功能。

在主动模式下进行的静态测试要求操作员确认:每个接口上都有相应的 DB-25 接口,且有关错误处理的文档也必须齐全。此外,还可以选择显示所需 DB-25 接口的标记位置图。

主动模式功能测试旨在验证设备在单次切换过程中的性能。多项测试用于确认设备能够正确处理与切换相关的各种问题。另有五项测试专门用于模拟五种标准的超时错误情况。四项测试则用于验证被动设备的端口传感器的功能。其他测试则涉及紧急停止功能的实现,以及 E84+24V 供电电压是否满足要求。对于各项测试所涉及的控制信号,还可以选择查看其时序图。

Screenshot of E84 Emulator Setup Utility

在自动测试模式下,可以随时保存测试计划和测试结果。所保存的文件为便于打印而格式化的 ASCII 文本文件。该文本文件包含了操作员输入的所有设备信息,以及 E84 仿真器应用程序提供的各项测试相关数据。测试详情包括测试标题、测试结果、故障信息,以及用户在测试过程中输入的任何备注。此外,还可以重新调用已保存的测试计划,以便继续进行测试。

手动测试模式提供了一个菜单,用户可以通过该菜单来切换并行输出信号的状态,同时还能持续查看并行输入信号的状态。


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