高精度垂直载物台——ZE™
晶圆检测、扫描与探针测试应用
Dover Motion推出的精密垂直移动平台ZE™，是一种结构紧凑且精度极高的垂直移动解决方案。该产品专为满足晶圆检测、扫描及探针测试等高要求应用而设计，能够实现极为平稳、精准且可重复的垂直移动动作。其移动范围在0.5英寸到1.5英寸之间，且具有低高度的设计特点。
精密垂直载物台——ZE™规格参数
*1 步进电机；开环控制。若配备编码器反馈或补偿机制，其精度会得到提升。
描述
在Dover ZE™型号中，四个角落都配备了高精度的非循环式导轨，因此在整个移动过程中，平台的俯仰和偏航角度都能控制在15弧秒以内。该平台有0.5英寸和1英寸两种行程规格，同时其结构设计还能降低高度，从而缩小整体尺寸。8英寸见方的安装板使得负载能够与提升力保持同一直线，这样就无需将负载以悬臂方式固定了。
我们的精密垂直平台配备了NEMA 23标准规格的电机（可以是步进电机或伺服电机），该电机与丝杠相连，进而驱动滑块在楔形轨道上移动。这样的设计能够实现高分辨率的定位效果，而防回程间隙的摩擦螺母则确保了出色的重复定位精度。每个平台还配有精密的霍尔效应限位开关，这些开关通过便捷的D型微型连接器来实现信号传输与锁定功能。丝杠的螺距、楔形机构的比例，以及电机和控制器共同决定了ZE™平台的所有分辨率。
设计特点
- 低矮设计，无悬臂结构
- 出色的直线度与重复性
- 防回弹摩擦螺母
期权
- 可选电机类型：步进电机或伺服电机
- 可用的反馈选项：旋转编码器
- 下载数据表，以获取有关该电动Z轴平台的更多技术细节。
- 查看Dover Motion的所有内容Z阶段
应用程序
我们的ZE™平台因适用于晶圆检测、扫描及探针测试而广受欢迎。
美国Dover motion 微型直线平台——MMX™-Z-25
DOF-5 DOF-5 物镜调焦台 DOF-5-E38-G03-TH02-R3-500 Dover motion DoverMotion Dover Motion DOF-5 Dover Motion DOF-5-E38-G03-TH02-R3-500 Dover Motion SS-XY-100x100-5nm Dover Motion SS-XYM Dover Motion单轴线性定位平台 Dover motion定位台 Dover Motion线性定位平台 Dover Motion载物台 Dover RTR™ MMS-AB-200-M23-E13-L09-010-D3 RTR-6旋转平台 SmartStage™ XY Monolithic SmartStage 定位器 SmartStage载物台 Z-50 纳米定位台 代理Dover Motion 物镜调焦台 电动旋转台 纳米定位平台 美国Dover motion 高精度垂直载物台——ZE™
