微型直线平台——MMX™-Z-25
出色的机械刚度与伺服带宽
MXX-Z-25是一种微型直线运动平台,其驱动器专为适配台式仪器及狭小空间而设计。这款紧凑型的直线运动平台具有出色的机械刚度和伺服响应带宽,因此非常适合用于高效率的工作场景
描述
MMX-Z-25-微型直线平台的设计特点
- 独特的电机设计使得这款紧凑型直线执行器能够实现更平稳的运转,同时具备行业领先的速度稳定性。
我们微型直线平台所采用的无刷无铁线性伺服电机,能够实现高速运转且无需维护,因此非常适合用于高效率的生产应用。此外,它还能实现无齿轮干扰的平稳运动,其定位精度可达6微米,重复定位精度则为0.4±微米。
平衡能力
- < 0.2千克:无需提供
- 0.2公斤 – 1.5公斤:磁性平衡装置
- 1.5公斤 – 4.5公斤:气动平衡装置
- 采用直驱方式时的最小包装尺寸直线电机1英寸行程定位器中的技术
直驱式直线电机技术采用直接的功率传输方式,在大多数情况下,它比传统的机械传动系统更具优势,能够为用户带来诸多好处。这些好处包括更高的精度、更低的磨损率、更快的响应速度,以及更安静的运行状态,从而实现无缝集成。
- 采用最强大的伺服电机设计,且体积小巧,因此循环时间更短。
MMX直线导轨采用高精度的防爬行交叉滚子轴承,因此能够实现极其平稳的运行,具备较高的刚性,同时体积小巧、可靠性高。这样一来,无需增加整体高度即可提升生产效率。
- 由于采用了刚性较高的交叉滚子轴承以及功率强大的电机,因此能够实现快速定型,从而提升生产效率。
- 得益于高分辨率编码器反馈,可实现行业领先的精度。伺服控制
MMX-Z-25型微型直线舞台的定位精度可达6微米。此外,它还配备了可调节的支架,以便外部安装限位传感器。
期权
- 可选电机类型:无铁直驱伺服电机
- 可选的反馈方式包括:带有模拟或数字信号的线性编码器(标准分辨率为1微米或0.1微米,其他分辨率可按需求提供)。
应用程序
对于需要高处理速度的定位应用而言,MMX-Z-25系列平台具备出色的机械性能与伺服控制精度,从而能够实现最优的运动控制效果:
- 焦平面定位机制:Z轴方向的定位移动(小于5微米)通常可在20毫秒以内完成,这一过程与XY轴的步进动作是同步进行的。
- 帧捕获:要获得高质量的图像,定位稳定性至关重要;其定位误差通常低于100纳米。
- 节省空间:这种紧凑型直线执行器专为安装在台式仪器内部而设计。
规格参数 – MMX 微型平台
| 行程 (mm) | MMX-Z-25 |
|---|---|
| 电机类型 | |
| 精度 (μm TIR) ¹ | |
| 反馈设备选项 – 编码器分辨率 | 模拟或数字 1 |
| 双向重复性 (± μm) | |
| 负载能力 (kg) ² | |
| 最大加速度 (m/s²) ³ | |
| 最大速度 (m/s) ³ | |
| 平面度与直线度 (μm TIR) | 3 |
| 运动质量 (kg) |
¹ 采用 0.1 μm 分辨率编码器;如需更高精度应用,请联系我们的应用工程师。
² 如需配重选项,请联系我们的应用工程师。
³ 最大加速度和速度取决于编码器和负载。
⁴ 如需更高性能版本,请联系工厂。
⁵ 行程寿命大于 1,000,000 km。
MMX 电机规格
| 额定性能 | 符号 | 单位 | 数值 |
|---|---|---|---|
| 峰值力 ¹⁵ | Fₚ | N | 23 |
| 连续力 | F꜀ | N | 7.7 |
| 电机常数 | Kₘ | N/W⁰·⁵ | 2.0 |
| 电气规格 | 符号 | 单位 | 数值 |
|---|---|---|---|
| 峰值电流 | Iₚ | A | 4.5 |
| 连续电流 ¹⁵ | I꜀ | A | 1.5 |
| 电阻 ³ | R | Ω | 7 |
| 电感 ⁴ | L | mH | 3.95 |
| 反电动势(正弦有效值)² | Kₑ | V/m/s | 5.1 |
| 力常数 ³ | Kբ | N/Aᵣₘₛ | 5.1 |
| 线圈最高允许温度 | Tₘₐₓ | °C | 100 |
| 最大电压 | Vₘₐₓ | V | 72 |
| 磁极节距 | P | mm | – |
电机绕组温升 ΔT = 75°C(环境温度 25°C 时)
在 25°C 下测量
线间测量,±10%
±20%,在 1 kHz 下测量
平台安装在 200mm×200mm×10mm 或更大的铝板上
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