美国Dover motion 高精度垂直载物台——ZE™

高精度垂直载物台——ZE™

晶圆检测、扫描与探针测试应用

Dover Motion推出的精密垂直移动平台ZE™,是一种结构紧凑且精度极高的垂直移动解决方案。该产品专为满足晶圆检测、扫描及探针测试等高要求应用而设计,能够实现极为平稳、精准且可重复的垂直移动动作。其移动范围在0.5英寸到1.5英寸之间,且具有低高度的设计特点。

精密垂直载物台——ZE™规格参数

*1 步进电机;开环控制。若配备编码器反馈或补偿机制,其精度会得到提升。

描述

在Dover ZE™型号中,四个角落都配备了高精度的非循环式导轨,因此在整个移动过程中,平台的俯仰和偏航角度都能控制在15弧秒以内。该平台有0.5英寸和1英寸两种行程规格,同时其结构设计还能降低高度,从而缩小整体尺寸。8英寸见方的安装板使得负载能够与提升力保持同一直线,这样就无需将负载以悬臂方式固定了。

我们的精密垂直平台配备了NEMA 23标准规格的电机(可以是步进电机或伺服电机),该电机与丝杠相连,进而驱动滑块在楔形轨道上移动。这样的设计能够实现高分辨率的定位效果,而防回程间隙的摩擦螺母则确保了出色的重复定位精度。每个平台还配有精密的霍尔效应限位开关,这些开关通过便捷的D型微型连接器来实现信号传输与锁定功能。丝杠的螺距、楔形机构的比例,以及电机和控制器共同决定了ZE™平台的所有分辨率。

设计特点

  • 低矮设计,无悬臂结构
  • 出色的直线度与重复性
  • 防回弹摩擦螺母

期权

  • 可选电机类型:步进电机或伺服电机
  • 可用的反馈选项:旋转编码器
  • 下载数据表,以获取有关该电动Z轴平台的更多技术细节。
  • 查看Dover Motion的所有内容Z阶段

应用程序

我们的ZE™平台因适用于晶圆检测、扫描及探针测试而广受欢迎。

美国Dover motion 微型直线平台——MMX™-Z-25

美国Dover motion DOF-5 物镜调焦台


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